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Einkristall-Zuchtofen

Tetra Arc Furnace TAC-5100J von QuantumDesign
Im Lichtbogenofen Tetra Arc Furnace TAC-5100J wird Material mit einem hohen Schmelzpunkt durch vier sich in inertem Argongas entladende elektrische Bögen geschmolzen. Die Einkristalle werden mit der Czochralski Methode gewonnen. Eigenschaften
  • Bis zu 3000°C Schmelztemperatur
  • Vier elektrische Bögen
  • Homogen verteilter Hochtemperaturbereich
  • Hochvakuumsystem (5x10-6 Torr)
  • Vakuum in Kammer in unter einer Stunde erreicht

Weitere Informationen

Im Einkristall-Zuchtofen Tetra Arc wird polykristallines Material durch vier elektrische Bögen in einem rotierenden, gekühlten Kupferofen geschmolzen. Ein gekühlter Wolframstab wird in die heiße Schmelze eingetaucht. Zum Ziehen des Kristalls wird der Stab unter Rotation langsam aus der Schmelze gezogen. Um eine Oxidation der Schmelze und des Kristalls zu verhindern, findet der Prozess in einer sauerstoff- und wasserfreien Atmosphäre statt. Geeignet für diese Art Kristallisation sind intermetallische Verbindungen, die durch Oxidation beschädigt werden können. Daher beinhaltet der Ofen ein Hochvakuumsystem (5x10-6 Torr) um Oxidation zu verhindern.

Spezifikation

KammerEdelstahl (Doppelhülle + Kühlwasser)
Arbeitsdruckbereich5x10-6 Torr (in 1 Stunde)~1.1 Atm
Vakuumsystem

Turbomolekularpumpe: 220 L/s und Rotationspumpe: 100 L/min

Messbereich Vakuummeter760 Torr~1x10-9 Torr
Bogengenerator/Getter-Generator200 A/pro Generator für jede Elektrode x 5 Einheiten
ZiehstabStabversiegelungEdelstahl-/Ferrofluid-Dichtung und Dichtungsbalg
Hubgeschwindigkeit0-39 mm/hr (Servomotor)
Hubweg150 mm
Geschwindigkeitsstabilität des Hubwegs±1.0 % FS
Schnelle Hubgeschwindigkeit175 mm/min (fix)
Rotationsgeschwindigkeit0-10 rpm
OfenschaftSchaftversiegelungEdelstahl-/Ferrofluid-Dichtung und Dichtungsbalg
Rotationsgeschwindigkeit0-10 rpm

Anwendungen

Intermetallische Verbindungen

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Tetra arc furnace

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Tetra Arc Furnace system, by GES Corporation

Referenzkunden

Single-Crystal Growth of f-Electron Intermetallics in a Tetra-Arc Czochralski Furnace, M. Szlawska and D. Kaczorowski, ACTA Physica Polonica A, Vol. 124, Seite 336 (2013).

Kontakt

Dr. Tobias Adler
Dr. Tobias Adler

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