Kostengünstiges präzises Tischgerät alpha 2.0

Von Woollam Co.

Das spektroskopische Ellipsometer alpha 2.0 ist ein schnelles, preiswertes System zur Bestimmung von Schichtdicken und optischen Konstanten. Das Gesamtsystem ist beeindruckend klein und kompakt ohne zusätzliche Steuereinheiten. Es ist somit das ideale Tischgerät. Die Rechneransteuerung erfolgt über USB.

Eigenschaften
  • Ex-situ
  • Dual Rotation Ellipsometer (Kompensator + Analysator)
  • Klein und kompakt
  • Preisgünstig
  • Halbautomatisch

Weitere Informationen

Für Routinemessungen von dünnen Schichtdicken und Brechungsindizes. Die Handhabung ist denkbar einfach: Sie führen die Probe ein, wählen das zu Ihrer Schicht passende Modell und drücken auf "Measure". Innerhalb von Sekunden haben Sie das Ergebnis.

Spezifikationen

Spetralbereich: 400 nm bis 1000 nm (190 Wellenlängen)

Einfallswinkel: 65°, 70° und 75° und Transmission (manuell)

Computerverbindung: USB

Automatisierte z-Justage

Messzeit: 5 - 10 Sekunden

Anwendungen

Optische Konstanten und Dicke, Anisotropie, Indexgradient, Zusammensetzung Das Alpha-SE ist ein äußerst präzises System zur Bestimmung von optischen Konstanten, Dicken, optischer Anisotropie, Indexgradienten, Zusammensetzungen, etc.
Dielektrische Schichten Mit schnellen Messgeschwindigkeiten und einfacher Bedienung per Knopfdruck eignet sich das Alpha-SE optimal zur Charakterisierung dünner Schichten. Einschichtige Dielektrika auf Silikon- oder Glasssubstraten können in Sekunden gemessen werden. Zum schnellen Vergleich können die gemessenen Daten in graphischer und tabellarischer Form dargestellt werden.
Selbst-organisierende Monoschichten (SAM) Mit spektroskopischer Ellipsometrie lassen sich auch bei sehr dünnen Schichten (<10 nm) Informationen zur Phase gewinnen. Selbst-organisierende Monoschichten (SAM) können mit dem Alpha-SE schnell vermessen und verglichen werden.
Absorbierende Schichten Beschichtungen auf Glas

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Spectroscopic ellipsometers overview
alpha 2.0 specification
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Thomas Wagner
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