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FP-Profiler für große Proben

Von Toho Technology
Die Kontaktprofilometer aus der Serie FP von Toho Technology kommen sowohl in der Forschung als auch in der Produktion zum Einsatz. Sie werden immer dann zur metrologischen Oberflächencharakterisierung großformatiger Proben eingesetzt, wenn kleinere Profilometer an ihre Grenzen geraten. Eigenschaften
  • Scan-Wiederholbarkeit: FP-A Profiler: 10 Å; FP-X Profiler: 15 Å
  • Wiederholbarkeit in X- und Y-Richtung: ±2 μm
  • Scanlänge: 30 mm ~ 90 mm mit Spannungsoption
  • Vertikaler Bereich: 0 - 130 μm
  • Messkopfkraft: 0,5 mg - 15 mg

Weitere Informationen

Aktuell wird eine Vielzahl von Profilometern auf dem Markt angeboten. Wenn es aber um Proben geht, die die normalen Standardmaße überschreiten und Abmessungen bis 400 mm und mehr erreichen, dann sind die Profiler aus der Serie FP von Toho eine einzigartige Lösung für die Messung und Charakterisierung solcher Proben. Die Profiler von Toho zeichnen sich durch die bewährte KLA-Tencor-Konstruktion aus und verbinden den patentierten Mikro-Messkopf und Tastspitze mit einem großen, beweglichen Transfertisch. Eine präzise Kraftsteuerung ermöglicht zuverlässige Messungen mit hervorragender vertikaler Auflösung und Präzision. Damit sind die FP Profiler erste Wahl wenn es um die Vermessung von Probengrößen geht. Die Profiler aus der FP-Serie von Toho ermöglichen eine automatische Analyse von Stufenhöhen, Welligkeit, Oberflächentopographie und Ebenheit, 2D- und 3D-Bildgebung der Topographieeigenschaften. Optional sind auch Spannungs- und 4-Punktwiderstandsmessungen möglich.

Anwendungen

Dünnschichthöhen Akkurate Profilmessungen ermöglichen die Messung extrem dünner Schichtstärken mit einer Scan-Wiederholbarkeit bis 1nm.
Dickschichthöhen Der große vertikale Höhenbereich bis 130 µm erlaubt neben der Messung von Dünnsichten auch die Bestimmung der Dicke sehr dicker Schichten.
Charakterisierung der Oberflächenrauheit
Oberflächenkrümmung und -form
Optionale 2D-Spannungsmessung

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FP series contact profiler
FP series contact profiler

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Dr. Tobias Adler
Dr. Tobias Adler

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Tobias AdlerProdukt Manager - Kryotechnologie & Materialwissenschaften
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