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Dual Rotating Compensator Ellipsometer RC2

Von Woollam Co.

Das RC2 ist das erste spektroskopische Ellipsometer mit zwei rotierenden Kompensatoren. Es verbindet die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativen neuen Technologien: zwei rotierende Kompensatoren, achromatisches Kompensatordesign, modernstes Lichtquellen- und Spektrometerdesign. Das RC2 ist ein beinah universell einsetzbares Instrument für diverse Anwendungen der spektroskopischen und Müller-Matrix-Ellipsometrie

Eigenschaften
  • Ex-situ, in-situ oder inline Setup
  • "Rotating Compensator" Ellipsometer
  • Modulares design mit einer Vielzahl an Optionen und Konfigurationen
  • Max. Spektralbereich 193 - 2500 nm
  • Vollautomatisch

Weitere Informationen

Das RC2 Design ist aus 25jähriger Erfahrung entstanden. Es verbindet die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativen neuen Technologien: zwei rotierende Kompensatoren, achromatisches Kompensatordesign, modernstes Lichtquellen- und Spektrometerdesign. Das RC2 ist ein beinah universell einsetzbares Instrument für diverse Anwendungen der spektroskopischen Ellipsometrie. Durch das modulare Design kann das Ellipsometer an eine bestehende Prozesskammer oder jedes Tischbasisgerät angeschlossen werden. Neueste Technologie und Messoptionen wie verallgemeinerte Ellipsometrie, Müller-Matrix und Depolarisation gewährleisten präzise Ellipsometriemessungen für jede Probe.

Spezifikation

Schnelle Messung

Die sychronisierte Rotation der beiden Kompensator liefern direkt “Zone Average”-Messungen. Das gesamte Spektrum von über 1000 Wellenlängen wird simultan innerhalb von 0.3 Sekunden gemessen.

Fortschrittliche Lichtquelle

Die Lichtquelle der nächsten Generation beinhaltet eine computergesteuerte Strahlintensität, um das Signal für jede Probe (niedrige oder hohe Reflexion) automatisch zu optimieren.

Wellenlängenbereich:

  • RC2-U/X: 210 bis 1000 nm
  • RC2-D: 193 bis 1000 nm
  • NIR-Erweiterung bis 1690 nm
  • XNIR-Erweiterung bis 2500 nm

Messzeit

Messung des gesamten Spektrums in 0.3 Sekunden – auch von erweiterten Datentypen wie komplette Mueller Matrix.

Verfügbare Einfallswinkeleinheiten

  • Fester Winkel: 65°
  • Horizontale Einfallswinkeleinheit (automatisiert): 45° - 90°
  • Vertikale Einfallswinkeleinheit (automatisiert): 20° - 90°

Optionen

Nahezu alle Optionen des M-2000 sind für das RC2 verfügbar:

  • Automatisierter XY-Mapping-Tisch (von 100 mm bis 450 mm)
  • Probenrotator
  • Fokusieroption
  • Flüssigzellen
  • Heizeinheiten
  • Etc.

Anwendungen

Optische Konstanten und Dicke, Anisotropie, Indexgradient, Zusammensetzung Das RC2 ist ein äußerst präzises System zur Bestimmung von optischen Konstanten, Dicken, optischer Anisotropie, Indexgradienten, Zusammensetzungen, etc.
Homogenität Dickenprofil In Kombination mit einem automatischen XY-Mappingtisch können anhand von automatischen Messrezepten die Homogenität, Dickenprofil, etc. der Probe vermessen werden.
Dynamische Messungen Adsorptionskinetik Dynamische Messungen können entweder mit dem In-situ-Paket, welches an einer UHV-Beschichtungskammer befestigt ist, oder mit Flüssigkeits- und Wärmezellen, die an ein ex-Situ RC2 gekoppelt sind, durchgeführt werden. So kann die zeitabhängige Adsportion von Molekülen aus einer flüssigen Umgebung in Echtzeit verfolgt und gemessen werden. Alternativ können temperaturabhängige Veränderungen an der Probe bestimmt werden, z. B. Phasenübergänge or die Glasübergangstemperatur von Polymeren.

Downloads

Spectroscopic ellipsometers product overview
Spectroscopic ellipsometers product overview
RC2 brochure
RC2 brochure
In situ RC2 2018
In situ RC2 2018
In situ brochure
In situ brochure
About Woollam Co.
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Kontakt

Thomas Wagner
Thomas Wagner

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Thomas WagnerProdukt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
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