Kompaktes theta-SE für schnelles Probenmapping
Unser PartnerWoollam

Kompaktes theta-SE für schnelles Probenmapping

von Woollam Co.

Das theta-SE ist ein spektroskopisches Ellipsometer für Knopfdruck-Bedienung zur Homogenitäts-Charakterisierung von Dünnschichten. Es bietet fortschrittliche Ellipsometrie-Technologie in einem kompakten Gehäuse zu erschwinglichem Preis.

Eigenschaften
  • Voll integriertes System
  • Hohe Geschwindigkeit
  • Kompakt
  • Bedienerfreundlich
  • Kostengünstig

Weitere Informationen

Das theta-SE ist mit 300 mm automatisiertem Probentisch, kleinem Messstrahl, schneller automatischer Probenjustage, Kamera und unserer neuesten Dual-Rotating Ellipsometer-Technologie ausgestattet. Das theta-SE hat alles, was Sie benötigen, um die laterale Homogenität Ihrer Schichtdicke und optischen Eigenschaften zu messen.

Spezifikation

  • Spektralbereich: 400 bis 1000nm
  • Anzahl der Wellenlängen (simultan gemessen): 190
  • Detektor: CCD
  • Messfleck: 250 x 600µm (auf Probe)
  • Messzeit (pro Messpunkt, gesamtes Spektrum): 0.3 Sek (schnellste Messzeit), 1-2 Sek (typisch)
  • Einfallswinkel: 65°
  • Datentypen: Spektroskopische Ellipsometrie und g-SE oder Mueller Matrix-SE

Anwendungen

Optische Konstanten
Schichtdicken
Homogenitäts-Dickenprofil

Downloads

theta-SE brochure
theta-SE brochure
Spectroscopic ellipsometers product overview
Spectroscopic ellipsometers product overview

Kontakt

Thomas Wagner
Thomas Wagner

Kontakt

Quantum Design GmbH

Im Tiefen See 58
64293 Darmstadt
Germany

Telefon:+49 6151 8806-0
Fax:+49 6151 8806920
E-Mail:germany@qd-europe.com
Cookie Hinweis Cookies helfen uns bei der Bereitstellung unserer Dienste. Wenn Sie unsere Dienste nutzen, stimmen Sie der Verwendung von Cookies zu. Datenschutzhinweise
Thomas WagnerProdukt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
+49 6151 8806-68
wagner@qd-europe.com