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Spektroskopisches Ellipsometer VUV-VASE

Von Woollam Co.

Das VUV-VASE Variable Angle Spektroskopische Ellipsometer ist der Standard für die optische Charakterisierung von Materialien, die in Lithographieanwendungen verwendet werden. Der Messbereich reicht vom Vakuumultraviolett bis ins nahe Infrarot (NIR). Dadurch ergeben sich unzählige Möglichkeiten, verschiedenste Materialien zu charakterisieren: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multischichten und jetzt auch Tauchflüssigkeiten.

Eigenschaften
  • VUV Ellipsometrie
  • Spektralbereich: 140 bis 2500 nm
  • Probenraum mit N2 gespült
  • Vollautomatisch

Weitere Informationen

Großer Spektralbereich:

Verfügbarer Spektralbereich: 140 -2500 nm mit NIR Upgrade-Option.

Höchste Genauigkeit

Der patentierte AutoRetarder erlaubt präzise Messungen von Delta über den gesamten Bereich (0-360°) inkl. nahe 0° und 180°. Dadurch werden optimale Messergebnisse für jeden Probentyp erreicht.

Bequeme Probenmontage

Das VUV-VASE verwendet eine Schleusenkammer, mit der die Probenkammer im Handumdrehen beladen und begast werden kann.

Probenschutz

Das VUV-VASE hat einen Monochromator vor die Probe geschaltet, welcher den Lichteinfall auf die Probe minimiert. So werden photosensitive Materialien geschützt.

Spezifikation

  • Spektralbereich: 140 bis 1100 nm
  • NIR-Erweiterung: bis 1700 nm oder 2500 nm
  • Vertikale Probenhalterung
  • Motorisiertes Einfallswinkelgoniometer: 25° bis 90°.
  • AutoRetarder
  • Ellipsometrie, Transmission und Reflexionsgrad
  • Große Probenwägezelle: 300 mm Wafer, 6"" Fotomasken
  • XY Probenzuordnung

Anwendungen

Fotolacke Messen von Schichtdicken und Brechungsindizes (n und k) bei 157nm, 193nm und 248nm.
Elektronenübergänge Halbleiter Bandlücken, elektrische Übergänge und kritische Punkte von Halbleitermaterialien konnten mit einem freistehenden Instrument, welches normalerweise Zugang zu einem Synchrotron benötigt, im VUV vermessen werden.
Anisotropie Anspruchsvolle anisotrope Messungen (verallgemeinerte Ellipsometrie) liefern zusätzliche Informationen zur Charakterisierung uniaxialer (zwei optische Konstanten) und biaxialer (drei optische Konstanten) anisotroper Materialien. Das VUV-VASE kann sowohl im Transmissions- als auch im Reflexionsmodus messen.
Antireflexbeschichtung
Stepperoptiken

Downloads

VUV-Vase Brochure
VUV-Vase Brochure
Spectroscopic ellipsometers product overview
Spectroscopic ellipsometers product overview

Kontakt

Thomas Wagner
Thomas Wagner

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Thomas WagnerProdukt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
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