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Spektroskopisches Ellipsometer VASE

Von Woollam Co.
Das VASE ist unser genaustes und vielseitigstes Ellipsometer für die Untersuchung an allen Arten von Materialien: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multi-Schichten und mehr.Eigenschaften
  • Ex-situ Spektroskopisches Ellipsometer
  • Großen Spektralbereich von 193 bis 4000 nm
  • Maximale Datengenauigkeit
  • Hohe spektrale Auflösung und perfekte Flexibilität für F & E

Weitere Informationen

Es verbindet hohe Präzision mit einem großen Spektralbereich von 193 bis 4000 nm. Variierbare Wellenlängen und Einfallswinkel erlauben flexible Messmöglichkeiten wie:
  • Reflektions- und Transmissionsellipsometrie
  • Verallgemeinerte Ellipsometrie
  • Reflexions- (R)intensität
  • Transmissions- (T)intensität
  • Kreuzpolarisierte R/T
  • Depolarisation
  • Scatterometrie
  • Müller-Matrix
Maximale Datengenauigkeit Das VASE kombiniert ein Ellipsometer mit rotierendem Analysator (RAE) mit unserem patentierten AutoRetarder für maximale Datengenauigkeit. Präzise Wellenlängenauswahl Der HS-190TM Monochromator wurde speziell für die spektroskopische Ellipsometrie entwickelt. Er optimiert Geschwindigkeit, Wellenlängengenauigkeit und Lichtdurchsatz. Gleichzeitig wird der Spektralbereich und Wellenlängenauswahl automatisch kontrolliert. Flexible Messungen Das VASE hat eine vertikale Probenhalterung, was eine Vielzahl an Messgeometrien erlaubt, z. B. Reflexion, Transmission und Streuung.

Spezifikation

  • Vertikale Probenhalterung
  • Computergesteuerte Einfallswinkeleinheit 20° - 90°
  • Einfach- und Doppelkammermonochromator
  • Spektralbereich 250 - 2500 nm (standard)
  • DUV bis 193 nm
  • NIR bis 3200 nm oder 4000 nm
  • Computergesteuerte Probenverfahreinheit: 50 mm XY
  • Computergesteuerter Probenrotator
  • AutoRetarder
  • Manualle 50 mm XY Translation
  • Fokusieroption mit 200 µm Spotgröße
  • Kamera
  • Kryostat (4.2 bis 500 K oder 4.2 bis 800 K)
  • Heizzelle (RT bis 300 °C or -80 °C bis +600 °C)

Anwendungen

Halbleiter Bandlücken, Elektronenübergänge und Kritischpunkte können für Halbleitermaterialien wie GaN, InP, SiGe, CdTe, etc. gemessen werden. Gute Wellenlängenauflösung und die Möglichkeit, Depolarisation zu vermessen, garantieren präzise optische Konstanten.
Dicke Schichten Für dickere Schichten (> 5 µm) wird eine gute spektrale Auflösung benötigt, um die Interferenzoszillations-Merkmale von Ψ/Δ Daten aufzulösen. Vom Anwender definierte Monochromator-Schrittgrößen und eine schmale Bandbreite helfen, dünne spektrale Eigenschaften aufzulösen.
Photosensitves Material Der Monochromator wird so vor der Probe positioniert, dass nur monochromatisches Licht mit geringer Intensität auf die Probe trifft. Dadurch wird die Belichtung von photosensitiven Proben verhindert.
Anisotrope Schichten und Meta-Materialien

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Spectroscopic ellipsometers product overview
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VASE brochure
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Kontakt

Thomas Wagner
Thomas Wagner

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Thomas WagnerProdukt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
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