Spin Coater

Spin Coater sind ideale Werkzeuge zur Herstellung dünner und ultradünner Filme für viele Anwendungen, insbesondere für spektroskopische Untersuchungen (optisch, IR, Röntgen, dielektrisch etc.)Eigenschaften
  • Breite Auswahl an Spin Coatern
  • Leerlaufdrehzahl bis zu 13500 U/min
  • Passive oder aktive Vakuumansaugung
  • Interne Drehzahlprogramme
  • Große Auswahl an speziellen Probentischen (Chucks)

Weitere Informationen

Die Spin Coater der Serie SCI sind kompakte Routinegeräte, die in drei Motorisierungen mit maximalen Leerlaufdrehzahlen von 4.500, 9.000 und 13.500 U/min lieferbar sind. Die Drehzahleinstellung erfolgt über ein 10-Gang-Wendelpotentiometer, die Anzeige der Drehzahl über einen eingebauten digitalen Tachometer in Umdrehungen pro Sekunde. Durch eine spezielle Konstruktion (Radialbohrungen) der Tische wird bei mittleren bis hohen Drehzahlen eine passive Vakuumansaugung erreicht. Die Modelle SCV-10, SCE-150 und SCC-200. haben die Möglichkeit der aktiven Vakuumfixierung der Substrate durch eine externe Vakuumpumpe. Der SCE-150 bietet eine programmierbare Rampenfunktion und ein einstellbares Drehzahlplateau. Der SCC-200 kann zehn Programm-Routinen speichern.

Anwendungen

Mit Spin Coatern lassen sich Filme reproduzierbarer Dicke aus verschiedensten Materialen (Foto- und andere Lacke, Polyimide, Sol-Gele, usw.) auf nahezu jeder Art Substrat (Kupfer, Silikon, Glas, Plastik, etc.) aufbringen. Beim Spin-Coating werden diese flüssigen oder auch pastösen Substanzen auf das sehr schnell rotierende Substrat aufdosiert. Infolge der auftretenden Fliehkräfte werden diese Substanzen radial nach außen geschleudert; dabei bleibt ein dünner Substanzfilm (nm - µm) auf dem Substrat zurück. Spin Coater sind damit ideale Werkzeuge zur Herstellung dünner und ultradünner Filme für viele Anwendungen, insbesondere auch für spektroskopische Untersuchungen (optisch, IR, Röntgen, dielektrisch etc.)

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Dr. Joachim Weiss
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