Strahl-Abschaltung für Elektronenmikroskope

Von Hitachi oder JEOL
Mit dem PCD Strahlabschalter von Deben kann der Strahl in Elektronenmikroskopen von JEOL und Hitachi entweder komplett oder auch sequenziell geblockt werden. Der Strahlabschalter arbeitet mit bis zu 40 kV und einer Schaltzeit von ungefähr 50 Nanosekunden. Die Größe der Ablenkungsplatten wurde so gewählt, dass man eine optimierte Ablenkung für Strahlstärken von 1 kV bis zu 40 kV erhält. Die Ablenkungsplatten sind mit Kobalt-Gold beschichtete Phosphorbronze-Platten, so dass die optimale Benutzung des REMs auch nach Einbringung gewährleistet ist.

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PCD port SEM beam blanking system

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Dr. Andreas Bergner
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