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Schnelles spektroskopisches Ellipsometer M-2000

von Woollam Co.

Das M-2000 Ellipsometer kombiniert als erstes System die 'rotating compensator'-Methode mit der CCD-Technologie. Damit ist eine sehr hohe Meßgeschwindigkeit möglich: mindestens 390 Wellenlängen in < 1 Sekunde. Konfiguriert für ex-situ oder in-situ Messungen.

Eigenschaften
  • Ex-situ, in-situ oder inline Setup
  • "Rotating Compensator" Ellipsometer
  • Modulares design mit einer Vielzahl an Optionen und Konfigurationen
  • Max. Spektralbereich 193 - 1690 nm
  • Vollautomatisch

Weitere Informationen

Das M-2000 verwendet die patentierte Rotating Compensator Ellipsometer (RCE) Technologie, um höchste Genauigkeit zu erreichen. Das RCE Design ist mit neuester CCD Technik kombinierbar. Dadurch lassen sich ALLE Wellenlängen gleichzeitig messen. Das M-2000 detektiert über 700 verschiedene Wellenlängen vom Ultraviolett bis ins nahe Infrarot. Durch das modulare Design kann das Ellipsometer an eine bestehende Prozesskammer oder jedes Tischbasisgerät angeschlossen werden. Neueste Technologie und Messoptionen wie verallgemeinerte Ellipsometrie, Müller Matrix und Depolarisation gewährleisten präzise Ellipsometriemessungen für jede Probe.

Spezifikation

Verfügbare Spektralbereiche

  • M-2000V: 370 bis 1000 nm (390 Wellenlängen)
  • M-2000U/X: 245 bis 1000 nm (470 Wellenlängen)
  • M-2000D: 193 bis 1000 nm (500 Wellenlängen)
  • NIR-Erweiterung: 1010 bis 1690 nm (200 Wellenlängen)

NIR Erweiterung

  • Erweiterter Spektralbereich für die Modelle "V", "U/X" und "D" bis 1690 nm mit zusätzlich 200 Wellenlängen, 1000 nm bis 1690 nm

Verfügbare Ex-situ-Winkeleinheiten

Einwinkeleinheit, horizontale Probenhalterung: 60° oder 65°

Manuell einstellbare Einfallswinkel (45° bis 90°, kontinuierlich), horizontale Probenhalterung

Automatisierte Einfallswinkel, vertikale (20° bis 90°) oder horizontale (45° bis 90°) Probenhalterung

In-Situ-Paket

Beinhaltet UHV Fenster für Beschichtungskammer, Verkippeinheiten und alle Anbauteile zur Montage des M-2000® an 2" Vakuumflange

Automatisierte Probentranslation

  • 100 mm x 100 mm XY (nur horizontale Probehalterung)
  • 200mm x 200 mm XY (nur horizontale Probehalterung)
  • 300mm x 300 mm XY (nur horizontale Probehalterung)

Manuelle Probentranslation

  • 50 mm x 50 mm XY (nur horizontale Probenhalterung)
  • 100 mm x 100 mm XY (nur horizontale Probenhalterung)

Fokussierung

Spotgröße 150 bis 300 µm (abhängig vom Modell) im ganzen Spektralbereich

Für Standardspotgröße können Fokusoptiken einfach abgenommen werden

Anwendungen

Optische Konstanten Das M-2000 ist ein äußerst präzises System zur Bestimmung von optischen Konstanten, Dicken, optischer Anisotropie, Indexgradienten, Zusammensetzungen, etc.
Homogenität - Dickenprofil In Kombination mit einem automatischen XY-Mappingtisch können anhand von automatischen Messrezepten die Homogenität, Dickenprofil, etc. der Probe vermessen werden.
Dynamische Messungen - Adsorptionskinetik Dynamische Messungen können entweder mit dem In-situ-Paket, welches an einer UHV-Beschichtungskammer befestigt ist, oder mit Flüssigkeits- und Wärmezellen, die an ein ex-Situ M-2000 gekoppelt sind, durchgeführt werden. So kann die zeitabhängige Adsportion von Molekülen aus einer flüssigen Umgebung in Echtzeit verfolgt und gemessen werden. Alternativ können temperaturabhängige Veränderungen an der Probe bestimmt werden, z. B. Phasenübergänge oder die Glasübergangstemperatur von Polymeren.

Downloads

Spectroscopic ellipsometers product overview
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M-2000 brochure
M-2000 brochure
In situ brochure
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In situ M-2000
In situ M-2000
About Woollam Co.
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Thomas Wagner
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Thomas WagnerProdukt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
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