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In-situ spectroscopisches Ellipsometer iSE

Von Woollam Co.

Das iSE ist ein neues in situ-spektroskopisches Ellipsometer, das für die Echtzeit-Überwachung von Dünnschichtwachstum entwickelt wurde. Mit unserer bewährten Technologie ermöglicht das iSE den Anwendern, optische Eigenschaften von abgeschiedenen Filmen zu optimieren, das Filmwachstum mit Sub-Angström-Empfindlichkeit zu kontrollieren und die Wachstumskinetik zu überwachen.

Eigenschaften
  • In-situ
  • „Dual rotating element“ Ellipsometer
  • Klein und kompakt
  • Preisgünstig
  • Schnelle Messzeit
  • Bedienerfreundlich

Weitere Informationen

Fast alle in-situ Messaufgaben erfordern spektroskopische Ellipsometrie, für viele Anwendungen ist jedoch ein Spektralbereichdes iSE von 400 bis 1000nm völlig ausreichend. Bei höchster Messgenauigkeit. Mit der kompakten Bauweise, lässt sich das iSE auch an komplexe Beschichtungsanlage mit wenig Platz anbauen. Die hohe Messgeschwindigkeit erlaubt schnelle Wachstumsprozesse in Echtzeit zu verfolgen und mit der leistungsfähigen CompleteEASE-Software Informationen an die Anlage zurückmelden für Prozesssteuerung.

Spezifikation

  • Spektralbereich: 400 nm bis 1000 nm
  • Anzahl der Wellenlängen (simultan gemessen): 190
  • Detektor: CCD
  • Messzeit: 0.3 Sek (schnellste Messzeit), 1-2 Sek (typisch)
  • Strahldurchmesser: ~3mm
  • Anforderungen an Beschichtungsanlage: Portgröße: 2.75“ CF (1.33“ CF optional),
    Typische Einfallswinkel (Portwinkel): 60° - 75° ** bezogen auf Probennormale

Anwendungen

Bestimmung der Dicke von dünnen Schichten von Einzel- und Mehrschichtsystemen
Optische Konstanten
Wachstums- und Ätzrate
Prozesskinetik
Oberflächenqualität vor und nach Prozess
Echtzeit-Endpunkt-Detektion
ALD, CVD, MBE, Sputtern, etc.

Downloads

Spectroscopic ellipsometers - product overview
Spectroscopic ellipsometers - product overview
iSE brochure 2017
iSE brochure 2017
In situ iSE 2018
In situ iSE 2018

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Thomas Wagner
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Thomas WagnerProdukt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
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