Spektroskopisches Ellipsometer VUV-VASE
Von Woollam Co.Das VUV-VASE Variable Angle Spektroskopische Ellipsometer ist der Standard für die optische Charakterisierung von Materialien, die in Lithographieanwendungen verwendet werden. Der Messbereich reicht vom Vakuumultraviolett bis ins nahe Infrarot (NIR). Dadurch ergeben sich unzählige Möglichkeiten, verschiedenste Materialien zu charakterisieren: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multischichten und jetzt auch Tauchflüssigkeiten.
- VUV Ellipsometrie
- Spektralbereich: 140 bis 2500 nm
- Probenraum mit N2 gespült
- Vollautomatisch
Weitere Informationen
Großer Spektralbereich:
Verfügbarer Spektralbereich: 140 -2500 nm mit NIR Upgrade-Option.
Höchste Genauigkeit
Der patentierte AutoRetarder erlaubt präzise Messungen von Delta über den gesamten Bereich (0-360°) inkl. nahe 0° und 180°. Dadurch werden optimale Messergebnisse für jeden Probentyp erreicht.
Bequeme Probenmontage
Das VUV-VASE verwendet eine Schleusenkammer, mit der die Probenkammer im Handumdrehen beladen und begast werden kann.
Probenschutz
Das VUV-VASE hat einen Monochromator vor die Probe geschaltet, welcher den Lichteinfall auf die Probe minimiert. So werden photosensitive Materialien geschützt.
Spezifikationen
- Spektralbereich: 140 bis 1100 nm
- NIR-Erweiterung: bis 1700 nm oder 2500 nm
- Vertikale Probenhalterung
- Motorisiertes Einfallswinkelgoniometer: 25° bis 90°.
- AutoRetarder
- Ellipsometrie, Transmission und Reflexionsgrad
- Große Probenwägezelle: 300 mm Wafer, 6"" Fotomasken
- XY Probenzuordnung
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