So bleibt Ihr Flexus-Gerät präzise – Wartung für maximale Lebensdauer

Die Flexus-Filmspannungsmessgeräte von Toho Technology überzeugen durch ihre Langlebigkeit – viele Systeme sind seit über 20 Jahren im Einsatz. Entscheidend dafür sind regelmäßige Wartung und jährliche Rekalibrierung.
Eine Kalibrierung mit zertifiziertem Standard sorgt für präzise Messergebnisse, ISO-Konformität und verlängert die Lebensdauer. Vibrationen, häufige Nutzung oder Standortwechsel können die Laserausrichtung beeinträchtigen – daher sollten beide Laser jährlich geprüft werden. Ab einem Alter von fünf Jahren empfiehlt sich zudem der Austausch der Gummibuchsen zur Sicherung der Bewegungsgenauigkeit.
Diese Punkte sollten einmal jährlich geprüft werden – viele davon kann der Nutzer selbst durchführen:

Kalibrierung und Mechanik:

  • Spannungsprüfung mit zertifiziertem Wafer-Paar (Toleranz < 5 %)
  • Funktionstest mit Wafer-Spannungspaar
  • Spiegelradiuskontrolle mit zertifiziertem Spiegelset (Toleranz < 5 %)
  • Prüfung des Flachwerts (Sollwert > 3000 m)

System und Komponenten:

  • Sichtprüfung innen und außen
  • Kontrolle aller Anschlüsse (Gas, Strom, Luft)
  • Überprüfung von Zubehör, Kabeln und Leiterplatten
  • Spannungsprüfung der Verstärkerkarte
  • Test der Lasersicherheitsverriegelung
  • Messung der Stromversorgungsspannung

Software und Funktion:

  • Systemstartprüfung
  • Installation verfügbarer Software-Updates
  • Abgleich und Aktualisierung der Kalibrierkoeffizienten
  • Softwarediagnose

Optik und Pflege:

  • Prüfung von Laserintensität und -ausrichtung
  • Reinigung und Schmierung der Translationsbühne
  • Austausch von Laser und Gummibuchsen bei Bedarf

Zur Eigenkontrolle eignen sich ein Wafer-Spannungspaar und ein Kalibrierspiegelsatz. Ersatzteile wie Laser, Flachbandkabel oder Buchsen sind auf Anfrage erhältlich.
Mit dieser Wartungsroutine bleibt Ihr Flexus-System dauerhaft präzise und zuverlässig.

Mehr über das Dünnschicht Stressmess-System

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Dr. Tobias Adler
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