Einkristall-Zuchtofen
Tetra Arc Furnace TAC-5100J von Quantum DesignIm Lichtbogenofen Tetra Arc Furnace TAC-5100J wird Material mit einem hohen Schmelzpunkt durch vier sich in inertem Argongas entladende elektrische Bögen geschmolzen. Die Einkristalle werden mit der Czochralski Methode gewonnen.
- Bis zu 3000°C Schmelztemperatur
- Vier elektrische Bögen
- Homogen verteilter Hochtemperaturbereich
- Hochvakuumsystem (5x10-6 Torr)
- Vakuum in Kammer in unter einer Stunde erreicht
Weitere Informationen
Im Einkristall-Zuchtofen Tetra Arc wird polykristallines Material durch vier elektrische Bögen in einem rotierenden, gekühlten Kupferofen geschmolzen. Ein gekühlter Wolframstab wird in die heiße Schmelze eingetaucht. Zum Ziehen des Kristalls wird der Stab unter Rotation langsam aus der Schmelze gezogen. Um eine Oxidation der Schmelze und des Kristalls zu verhindern, findet der Prozess in einer sauerstoff- und wasserfreien Atmosphäre statt.
Geeignet für diese Art Kristallisation sind intermetallische Verbindungen, die durch Oxidation beschädigt werden können. Daher beinhaltet der Ofen ein Hochvakuumsystem (5x10-6 Torr) um Oxidation zu verhindern.
Spezifikationen
Kammer | Edelstahl (Doppelhülle + Kühlwasser) | |
Arbeitsdruckbereich | 5x10-6 Torr (in 1 Stunde)~1.1 Atm | |
Vakuumsystem | Turbomolekularpumpe: 220 L/s und Rotationspumpe: 100 L/min | |
Messbereich Vakuummeter | 760 Torr~1x10-9 Torr | |
Bogengenerator/Getter-Generator | 200 A/pro Generator für jede Elektrode x 5 Einheiten | |
Ziehstab | Stabversiegelung | Edelstahl-/Ferrofluid-Dichtung und Dichtungsbalg |
Hubgeschwindigkeit | 0-39 mm/hr (Servomotor) | |
Hubweg | 150 mm | |
Geschwindigkeitsstabilität des Hubwegs | ±1.0 % FS | |
Schnelle Hubgeschwindigkeit | 175 mm/min (fix) | |
Rotationsgeschwindigkeit | 0-10 rpm | |
Ofenschaft | Schaftversiegelung | Edelstahl-/Ferrofluid-Dichtung und Dichtungsbalg |
Rotationsgeschwindigkeit | 0-10 rpm |
Anwendungen
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Referenzkunden
Single-Crystal Growth of f-Electron Intermetallics in a Tetra-Arc Czochralski Furnace, M. Szlawska and D. Kaczorowski, ACTA Physica Polonica A, Vol. 124, Seite 336 (2013).
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