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Einkristall-Zuchtofen

Tetra Arc Furnace TAC-5100J von Quantum Design

Im Lichtbogenofen Tetra Arc Furnace TAC-5100J wird Material mit einem hohen Schmelzpunkt durch vier sich in inertem Argongas entladende elektrische Bögen geschmolzen. Die Einkristalle werden mit der Czochralski Methode gewonnen.

Eigenschaften
  • Bis zu 3000°C Schmelztemperatur
  • Vier elektrische Bögen
  • Homogen verteilter Hochtemperaturbereich
  • Hochvakuumsystem (5x10-6 Torr)
  • Vakuum in Kammer in unter einer Stunde erreicht

Weitere Informationen

Im Einkristall-Zuchtofen Tetra Arc wird polykristallines Material durch vier elektrische Bögen in einem rotierenden, gekühlten Kupferofen geschmolzen. Ein gekühlter Wolframstab wird in die heiße Schmelze eingetaucht. Zum Ziehen des Kristalls wird der Stab unter Rotation langsam aus der Schmelze gezogen. Um eine Oxidation der Schmelze und des Kristalls zu verhindern, findet der Prozess in einer sauerstoff- und wasserfreien Atmosphäre statt.

Geeignet für diese Art Kristallisation sind intermetallische Verbindungen, die durch Oxidation beschädigt werden können. Daher beinhaltet der Ofen ein Hochvakuumsystem (5x10-6 Torr) um Oxidation zu verhindern.

Spezifikationen

Kammer Edelstahl (Doppelhülle + Kühlwasser)
Arbeitsdruckbereich 5x10-6 Torr (in 1 Stunde)~1.1 Atm
Vakuumsystem

Turbomolekularpumpe: 220 L/s und Rotationspumpe: 100 L/min

Messbereich Vakuummeter 760 Torr~1x10-9 Torr
Bogengenerator/Getter-Generator 200 A/pro Generator für jede Elektrode x 5 Einheiten
Ziehstab Stabversiegelung Edelstahl-/Ferrofluid-Dichtung und Dichtungsbalg
  Hubgeschwindigkeit 0-39 mm/hr (Servomotor)
  Hubweg 150 mm
  Geschwindigkeitsstabilität des Hubwegs ±1.0 % FS
  Schnelle Hubgeschwindigkeit 175 mm/min (fix)
  Rotationsgeschwindigkeit 0-10 rpm
Ofenschaft Schaftversiegelung Edelstahl-/Ferrofluid-Dichtung und Dichtungsbalg
  Rotationsgeschwindigkeit 0-10 rpm

Anwendungen

Intermetallische Verbindungen

Downloads

Tetra arc furnace

Videos

Tetra Arc Furnace for single crystal growth

Referenzkunden

Single-Crystal Growth of f-Electron Intermetallics in a Tetra-Arc Czochralski Furnace, M. Szlawska and D. Kaczorowski, ACTA Physica Polonica A, Vol. 124, Seite 336 (2013).

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Dr. Tobias Adler
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