Sputter-Targets / Materialien

Sputter-Targets / Materialien

Durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) können Proben bzw. Substrate mit einer großen Bandbreite an Metallen / Metall-Legierungen oder elektrisch leitende Materialien beschichtet werden. Das Beschichtungsmaterial wird als Sputter-Target bezeichnet.Eigenschaften
  • Targets für alle Quorum / Polaron / Emitech u.a. Beschichter
  • Hochreine Metalle/Legierungen
  • Große Auswahl an Materialien
  • Weitere Materialien, Durchmesser und Dicken auf Anfrage

Spezifikation

Scheibentargets (Ø 57mm)Dicke0,1 mm0,5 mm
Nutzbar für: E5000 / E5200 / E5400/ SC502/ SC7610 SC7620 / Q150R (S/ES) / Q300RT / Q150T (S/ES) / Q300T(D/T) / K575X(XD) / K675X(XD) / SC3000
Gold / (Au)**
Gold/Palladium (80% / 20%) / (Au / Pd)**
Gold/Palladium (60% / 40%) / (Au / Pd)*0,6 mm
Platin / (Pt)**
Platin/Palladium (80%/20%) / (Pt / Pd)**
Palladium / (Pd)**
Silber / (Ag)**
Kupfer / (Cu)1,0 mm
Nickel / (Ni)**
Zusätzlich nutbar Targets/Materialien für: Q150T (S/ES) / Q300T(D/T) / K575X(XD) / K675X(XD) / SC3000
Scheibentargets (Ø 57mm)Dicke / mm
Aluminium / (Al)1,0
Kohlenstoff / (C)1,5
Chrom / (Cr)(0,3) / 1,5 / 3,0
Cobalt / (Co)1,0
Indium Zinnoxid  (ITO)3,0
Iridium / (Ir) 
Eisen / (Fe)0,1
Magnesium / (Mg)2,0
Molybdän / (Mo)1,0 /2,0 /3,0
Wolfram / (W)0,5 /1,0
Titan / (Ti)1,5
Tantal / (Ta)1,0
Zinn / (Sn)1,0

Weitere Materialien, Durchmesser und Dicken auf Anfrage.

Scheibentargets auf Aluminiumhalter (Ø 60mm)    Thickness 0,1 mm   0,4 mm 
Nutzbar für : K350X / K500X / K550X / K650X(XT)
Gold / (Au)**
Gold/Palladium (80% / 20%) / (Au / Pd)**
Gold/Palladium (60% / 40%) / (Au / Pd)* 
Platin / (Pt)**
Platin/Palladium (80%/20%) / (Pt / Pd)* 
Palladium / (Pd)**
Silber / (Ag)**
Nickel / (Ni)* 

 Weitere Materialien, Durchmesser und Dicken auf Anfrage.

 Ringtarget
( OD 82mm / ID 60mm)
Thickness0,1 mm0,4 mm
Nutzbar für : SC7640 / SC7680
Gold / (Au)**
Gold/Palladium (80% / 20%) / (Au / Pd)**
Platin / (Pt)**
Platin/Palladium (80%/20%) / (Pt / Pd)**
Palladium / (Pd)**
Silber / (Ag)**
Nickel / (Ni) 0,3

 Weitere Materialien, Durchmesser und Dicken auf Anfrage.

Kontakt

Anne Kast
Anne Kast

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Anne KastProdukt Manager - Elektronenmikroskopie
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