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Ionenätzanlagen zur REM Probenpräparation

von Hitachi High-Tech

Ionenätzanlagen fertigen mit Hilfe eines breiten und kohärenten Ar Ionenstrahls entweder hochakkurate Querschnitte von REM Proben an oder polieren deren Oberflächen, um so artefaktfreie Abbildungen zu ermöglichen. Mechanische Wechselwirkungen, die die untersuchten Oberflächen verändern werden so vermieden. Die Ionenätzanlagen IM4000 von HITACHI können als duales System in beiden Modi betrieben werden.

Eigenschaften
  • Querschnitte und Ionenpolieren mit einem Abtrag von bis zu 500 µm/h
  • 0 bis 6 kV Beschleunigungsspannung
  • Gasflusskontrolle mittels MFC
  • Ionennstrahlunterbrechung
  • Rotation, Pendel und Kippung

Weitere Informationen

Example of the applicability of IM4000Plus

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IM4000 Ionenätzanlagen
Die IM4000 können in zwei Betriebsmodi betrieben werden.
Um Querschnitte anzufertigen wird ein breiter, niederenergetischer Ar-Ionenstrahl auf die Probe gerichtet um einen großflächigen, artefaktfreien Querschnitt anzufertigen. Hierfür wird zusätzlich eine Maske aufgebracht um die Materialoberfläche zu schützen und einen scharfen Schnitt zu ermöglichen. Die IM4000 vermeiden mechanische Beanspruchung bei gleichzeitig hohem Materialabtrag.

Flachwinkelätzen wird u.a. bei REM Untersuchungen in der Metallographie oder z.B. zur Untersuchung von Defekten unterschiedlichster Materialien angewandt. Konventionelle, mechanische Präparation durch Schleifen und Polieren kann hier zu Deformation und anderen ungewollten Veränderungen führen, so dass die ursprüngliche Struktur des Materials verloren geht. Durch einen flachen Winkel zwischen (niederenergetischem) Ionenstrahl und Probe wird das Material sanft und vor allem, homogen, abgetragen. Schleifspuren etc. entstehen nicht!

Die IM4000 Serie bietet eine Reihe von Konfigurationen und Optionen:

  • IM4000 Querschnittspräparation bis zu 300 µm/h
  • Im4000Plus Querschnittspräparation bis zu 500 µm/h
  • IM4000(Plus) Ionenpolierer (Flachwinkel)
  • Cooling Stage mit genauer Temperaturkontrolle für temperatursensitive Proben
  • Probenhalter für luftempfindliche Proben
  • „Fine pitch“ Querschnittsprobenhalter
  • Stereomikroskopvorrichtung

Weitere Optionen:

  • Cooling stage
  • Probenhalter für luftempfindliche Proben
  • Zoom Stereomikroskopvorrichtung

Kontakt

Dr. Dominic Vogt
Dr. Dominic Vogt

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