Ellipsomètre T-Solar
Woollam Co.L'ellipsomètre Woollam T-Solar™ est un M-2000™ dont l'intensité lumineuse a été optimisée en vue de la caractérisation des wafers Silicium texturés. Comme le M-2000™, il combine la méthode RCE (Rotating Compensator) avec une acquisition rapide par détection CCD. Un porte-échantillon spécifique pour l'analyse du Si texturé est fourni.
- Mesure de l'épaisseur de SiN des wafers texturés
- Ellipsomètre à compensateur tournant (RCE)
- Haute intensité lumineuse
Plus d'informations
L'ellipsomètre Woollam T-Solar™ combine la meilleure technologie d'analyse pour la photovoltaïque et une conception spécifique pour l'analyse des échantillons texturés. Basé sur la très établie technique brevetée dite RCE (Rotating Compensator) du très répandu M-2000™, le T-Solar™ enregistre simultanément tout le spectre de 245 à 1000 nm (470 longueurs d'onde).
Afin d'améliorer les performances sur des surfaces texturées rugueuses qui réduisent fortement le signal réfléchi, une source de forte intensité lumineuse est combinée avec un nouveau système d'optimisation d'intensité. Par conséquent, le T-Solar™ est l'instrument adéquat pour caractériser les coatings anti-reflet des surfaces silicium attaquées.
Enfin, le porte-échantillon du T-Solar™ permet un réglage supplémentaire de type Tilt/Rotation requis pour aligner les structures pyramidales des surfaces monocristallines.
Caractéristiques techniques
- Gamme spectrale : 245 à 1000 nm (470 wavelengths)
- Goniomètre à angle variable automatisé : angle de 45° à 90°
- Porte-échantillon spécifique avec angle variable additionnel (Tilt de 0° à 60°) et rotation sur 360°
- Focalisation: sondes amovibles pour réduire la taille du spot
Applications
Le T-Solar a été spécialement conçu pour caractériser les coatings anti-reflet des substrats texturés. L'aspect texturé et l'anti-reflet conduisent à supprimer la majeur partie de la réflexion, rendant difficiles des analyses optiques. Le T-Solar a résolu ce challenge par une source Xe 75W puissante et optimisée.
La surface du silicium monocristallin texturé par attaque alcaline possède des structures régulières de pyramides alignées selon les cristaux de silicium. Pour mesurer ces structures, le porte-échantillon spécifique du T-Solar est requis, l'échantillon pouvant être incliné pour aligner les pyramides avec le faisceau lumineux d'analyse.
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