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Imagerie corrélative AFM/MEB

QD-Microscopy

Le système AFSEM vous permet de combiner les possibilités de votre MEB avec les capacités d'un microscope à force atomique (AFM). L'AFSEM est compatible avec la plupart des systèmes MEB et FIB/MEB du marché et peut être facilement ajouté à votre système. En raison de la conception unique du système AFSEM™, il n'interfère pas avec les autres méthodes de votre système (par exemple FIB, FEBID, EDX) mais ajoute des informations concernant la structure de votre échantillon.

Plus d'informations

The AFSEM will come with ac-mode as well as contact mode as standard and you can also use it for phase contrast or force spectroscopy measurements. You even can add new functionalities by using special cantilevers e.g. conductive measurements.
The AFSEM is easy of use and offers maximum flexibility. The independent 3-axis travel stage will move the cantilever into your SEM field of view and you will sue the SEM sample stage to position your sample to measure your region of interest.

Watch this video to get an inside look into the world of AFSEM. This novel technique enables you to perform unique experiments within your SEM, Dual-Beam or optical microscope.