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Zygo : interféromètre de Fizeau ultra-haute résolution

Verifire HDX par Zygo

Avec son ITF interne élevée, l'interféromètre Verifire HDX de Zygo est le Fizeau ultime conçu et construit par Zygo pour caractériser les fréquences spatiales moyennes des composants et systèmes optiques. Disponible en versions 4" et 6", son ITF élevée permet également de "voir" un très grand nombre de franges dans le champ de vision permettant de caractériser, voulues ou non, les déviations des surfaces à forte pente.

Caractéristiques

Configuration dite True-Fizeau pour assurer une métrologie optimale
Design optique interne optimisé pour la transmission des hautes fréquences
Caméra haute-résolution faible bruit de 3392x3392 pixels à 96 Hz = de 1200 à 1500 franges détectables
Laser Zygo stabilisé longue durée de vie (> 60.000 h)
Logiciel Zygo MX
Acquisitions PSI (13 buckets) et QPSI (30 buckets) anti-vibratoire
Acquisitions DynaPhase & LivePhase en option

Plus d'informations

The Verifire HDX is the ultimate Fizeau made by Zygo. It includes all the great features of the popular Verifire HD - such as QPSI, and a long-life stabilized laser - and adds important enhancements like new best-in-class imaging and resolution for high instrument transfer function (ITF), superior characterization of mid-spatial frequency content and high-slope surface deviation. Zygo's DynaPhase dynamic acquisition technique can also be added optionally. QPSI and DynaPhase eliminate problems due to vibration and enables precision metrology in nearly any environment.

All characteristics

True on-axis Fizeau configuration ensures accurate metrology
Optimized internal design to transmit high frequencies
Low noise fast 3392x3392 pixels camera (96 Hz)
- Resolves mid-spatial frequency surface features (about 1500 fringes in the FOV)
Fixed 1x magnification
Zygo MX software
Classical PSI technology (13 buckets)
Anti-vibration QPSI technology (30 buckets) for production environments
Optional DynaPhase technology for dynamic measurements
Stabilized long-life proprietary laser with industry-leading reliability
Wired and wireless remote control
Available in 4” & 6” mainframes