M-2000 Ellipsomètre Spectroscopique Polyvalent

Woollam Co.

Le M-2000 offre à la fois vitesse et précision. Le système utilise la technique RCE (Ellipsométrie à compensateur tournant) brevetée et permet la détection CCD de tout le spectre (centaines de longueurs d'onde) en une fraction de seconde avec un large éventail de configurations.

Le M-2000 est le premier ellipsomètre qui excelle vraiment dans tous les domaines en configuration in situ ou ex situ.

Caractéristiques
  • Ex-situ, in-situ, ou en ligne
  • Ellipsomètre à compensateur tournant
  • Architecture modulaire avec une large variété d’options et configurations
  • Gamme spectrale max 193 to 1690 nm
  • Automatisation complete

Plus d'informations

L'ellipsomètre Woollam M-2000™ utilise la méthode brevetée dite RCE (Rotating Compensator) pour obtenir des mesures très précises et résolues. Le design RCE est compatible avec la détection par spectrophotomètre à caméra CCD afin de détecter toute la gamme spectrale simultanément. Grâce à une conception modulaire, le M-2000™ peut être fixé directement sur votre chambre de dépôt ou sur n'importe quel set-up ex-situ. Sa conception RCE évoluée lui assure des mesures ellipsométriques très précises pour tout type d'échantillon (aucune singularité). Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.

Caractéristiques techniques

Gammes spectrales disponibles :

  • M-2000V: 370 à 1000 nm (390 wavelengths)
  • M-2000U/X: 245 à 1000 nm (470 wavelengths)
  • M-2000D: 193 à 1000 nm (500 wavelengths)
  • Extension proche IR : 1000 à 1690 nm (200 wavelengths)

Options disponibles

  • extension NIR
  • une caméra NIR étend la gamme spectrale des mocèles ""V"", ""U/X"" and ""D"" à 1690 nm ajoutant 200 longueurs d'onde de 1000 nm à 1690 nm

Stations ex-situ disponibles

  • Station à angle fixe, échantillon horizontal : angles 65° et 90°
  • Goniomètre à angle variable automatisé, échantillon vertical (angle de 20 à 90°) ou éch. horizontal (angle de 45 à 90°)

Solution In-Situ

Inclut une paire de fenêtres UHV, deux montures pour flanges à vide 2"" avec réglages angulaires

Porte-échantillon automatisé XY

  • 100 mm x 100 mm (seulement si échantillon horizontal)
  • 150 mm x 150 mm (éch. horizontal et vertical)
  • 200 mm x 200 mm (seulement si échantillon horizontal)
  • 300 mm x 300 mm (seulement si échantillon horizontal)

Porte-échantillon manuel en XY

  • 50 mm x 50 mm (seulement si échantillon horizontal)
  • 100 mm x 100 mm (seulement si échantillon horizontal)

Focalisation

  • sondes amovibles pour atteindre un spot d'analyse de 150 à 300 µm (axe court fonction du modèle V, X, U, D)

**taille de spot minimale : 25 µm avec M-2000F (angle d'incidence fixe)

Applications

Epaisseur de couche, indice complexe du matériau, gradient d'indice, anisotropie, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées Le M-2000™ permet d'obtenir de façon très précise et répétable de nombreux paramètres des couches étudiées, notamment, l'épaisseur, l'indice complexe du matériau, le gradient d'indice, l'anisotropie, la rugosité d'interface, les coefficients de la matrice de Mueller, la dépolarisation.
Homogénéité du profil d'épaisseur Grâce à la motorisation en XY, il est possible de réaliser les mesures et analyses ellipsométriques de façon automatisée et de réaliser alors des cartographies des paramètres recherchés.
Mesures dynamiques d'adsoption Les mesures dynamiques sont très utiles pour le contrôle en temps réel en positionnement in-situ sur une chambre de dépôts ainsi qu'avec des cellules liquides et/ou de température.

Téléchargements

Spectroscopic ellipsometers product overview
M-2000 brochure
In situ brochure
In situ M-2000
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Gauthier Caby
Gauthier Caby

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