Zygo ZeGage Pro & Pro HR - Profilo-Rugosimètres 3D
ZeGage Pro par ZygoLes ZeGage Pro et Pro HR sont des profilomètre-rugosimètres optiques 3D fournissant des mesures et une caractérisation sans contact de n'importe quelle surface. Ces microscopes CSI offrent une résolution verticale à l'échelle nanométrique et sub-nano. On dit que ce sont des instruments « métrologiques » grâce à l'interférométrie qui donne la même résolution verticale quel que soit le grossissement de l'objectif utilisé. Zegage Pro et ZeGage Pro HR sont la nouvelle norme en matière de performances, de facilité d'utilisation, de polyvalence et de précision des profilomètres de surface sans contact industriels.
- Technologie antivibratoire SureScan pour une métrologie en atelier et laboratoire
- Facilité d’utilisation avec l’acquisition en un click
- Conforme à la norme ISO 25178 pour une confiance totale dans votre métrologie
- Métrologie 3D rapide et sans contact sans risque pour les échantillons
- Résolution verticale nanométrique et sub-nanométrique
Plus d'informations
ZeGage Pro and Pro HR can get the motorized XY stage to allow automatization: patterning and stitching to get wide field of view and high lateral resolution at the same time.
Characteristics:
- High vertical resolution:
- ZeGage Pro = 3,5 nm
- ZeGage Pro HR = 0,15 nm
- Wide Field of View with 1600x1200 pixels camera
- Max. measurable topography height: 20 mm (with appropriate objective)
- 1 button acquisition help with fast autofocus, autolight, autoscan range
- Motorized Z stage : 100 mm
- optional motorized XY : 100x100 mm (stitching, patterning)
- Large choice of standard lenses: 1X to 50X
- Choice of Long (20 mm) and Super Long (40 mm) Working Distance lenses
- Measurements require no consumables
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