RCE Ellipsomètre à double compensateur tournant
Woollam Co.Le RC2 est le premier ellipsomètre spectroscopique à double compensateurs tournants ce qui lui permet d’atteindre un niveau de précision ultime et de mesurer les 16 éléments de la matrice de Mueller en 0,3 seconde. Il combine les meilleures caractéristiques des autres instruments de la gamme avec de nouvelles technologies innovantes : double compensateurs tournants, compensateur achromatique, source de lumière ajustable et nouvelle génération de spectromètre. Le RC2 est une solution universelle pour les diverses applications de l'ellipsométrie spectroscopique et de l'ellipsométrie à matrice de Mueller.
- Ex-situ, in-situ ou en ligne
- Ellipsomètre à double compensateurs tournants
- Conception modulaire permettant une large variété d'options et de configurations
- Gamme spectrale maximale de 193 à 2500 nm
- Entièrement automatisé
Plus d'informations
L'ellipsomètre Woollam RC2™ concrétise 25 ans d'expérience et de développement technologique. Il combine la polyvalence et les excellentes performances du M-2000™ et inclut une innovation technologique avec son double compensateur tournant achromatique. Le RC2™ bénéficie également d'une toute nouvelle génération de spectrophotomètre. Ainsi le RC2™ est une solution pratiquement universelle pour toutes les applications ellipsométriques, y compris la capacité à donner tous les coefficients de la matrice de Mueller. Du fait de la même conception modulaire que le M-2000™, le RC2™ peut être fixé directement sur votre chambre de dépôt ou sur n'importe quel set-up ex-situ. Sa conception RCE évoluée lui assure des mesures ellipsométriques très précises pour tout type d'échantillon (aucune singularité). Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.
Caractéristiques techniques
Mesures rapides
Le fonctionnement synchronisé des deux compensateurs tournants permet des prises de mesure très précises sans avoir à attendre le moyennage au niveau des éléments optiques (pas de “zone-average”). La collection simultanée des données sur tout le spectre (1000 longueurs d'onde) se fait en une fraction de seconde.
Source lumineuse nouvelle génération
La nouvelle source lumineuse inclut le contrôle informatique de l'intensité lumineuse pour une optimisation automatique du signal sur tout type d'échantillon (basse ou forte réflexion).
Gammes spectrales disponibles
- RC2-U : 245 à 1000 nm
- RC2-D : 193 à 1000 nm
- Extension proche IR : 1000 à 1690 nm
Vitesse d'acquisition
Mesure du spectre complet en 1/3 de seconde - même pour des données avancées comme la matrice de Mueller.
Stations ex-situ disponibles
- Station à angle fixe, échantillon horizontal : angles 65° et 90°
- Goniomètre à angle variable automatisé, échantillon vertical (angle de 20 à 90°) ou éch. horizontal (angle de 45 à 90°)
Options
Pratiquement toutes les options du M-2000™ sont disponibles pour le RC2 :
- porte-échantillon automatisé en XY (de 100 mm à 450 mm) - mapping possible
- porte-échantillon en transmission
- système de focalisation
- cellules liquide
- cellules thermiques
Solution In-Situ
Inclut une paire de fenêtre UHV, deux montures pour flanges à vide 2"" avec réglages angulaires
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