VUV-VASE Ultraviolet sous vide

Woollam Co.

L'ellipsomètre spectroscopique à angle variable VUV-VASE® est la référence en matière de caractérisation optique des couches minces lithographiques. Il mesure les longueurs d'onde de l'ultraviolet sous vide (VUV) au proche infrarouge (NIR). Il offre une incroyable polyvalence pour caractériser de nombreux matériaux : semi-conducteurs, diélectriques, polymères, métaux, multicouches et liquides tels que les fluides d'immersion.

Caractéristiques
  • Ellipsometrie VUV
  • Gamme spectrale 140 to 2500 nm
  • Automatisation complète

Plus d'informations

Wide spectral range

Available 140 nm to 2500 nm spectral range with the NIR upgrade.

High accuracy

The patented AutoRetarder features precise measurements of Delta over the full range (0-360 degrees) including near 0 and 180 degrees. This ensures the best measurement of any sample type.

Convenient sample loading

The VUV-VASE uses a load lock chamber to load and purge the sample chamber with ease.

Protect your samples

The VUV-VASE is designed with the monochromator before the sample to minimize the light that probes your sample. This helps protect photo-sensitive materials.

Caractéristiques techniques

  • Spectral range: 140 to 1100 nm
  • NIR extension: to 1700 nm or 2500 nm
  • Verticale sample mount
  • Motorized angle of incidence goniometer: 25° to 90°
  • AutoRetarder
  • Ellipsometry, transmittance and reflectance
  • Large sample load lock cell: 300 mm wafer, 6"" photo-masks
  • XY sample mapping

Applications

Photoresists Measure film thickness and refractive index (n and k) at 157 nm, 193 nm, 248 nm.
Electronical transitions Semicondutors Bandgap, electronic transitions and critical points of semiconductor materials could be measured in the VUV spectral range with a stand-alone instrument, which normally requires access to a synchrotron beam line.
Anisotropy Advanced anisotropic measurements (generalized SE) provide additional information to help fully characterize uniaxial (two sets of optical constants) and biaxial (three sets of optical constants) anisotropic materials. The VUV-VASE can measure in both reflection and transmission ellipsometry modes. The graphs show ordinary and extraordinary dielectric functions of 4H SiC measured with VUV-VASE.
Antireflex coatings
Stepper optics

Téléchargements

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Gauthier Caby
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