VUV-VASE Ultraviolet sous vide
Woollam Co.L'ellipsomètre spectroscopique à angle variable VUV-VASE® est la référence en matière de caractérisation optique des couches minces lithographiques. Il mesure les longueurs d'onde de l'ultraviolet sous vide (VUV) au proche infrarouge (NIR). Il offre une incroyable polyvalence pour caractériser de nombreux matériaux : semi-conducteurs, diélectriques, polymères, métaux, multicouches et liquides tels que les fluides d'immersion.
- Ellipsometrie VUV
- Gamme spectrale 140 to 2500 nm
- Automatisation complète
Plus d'informations
Wide spectral range
Available 140 nm to 2500 nm spectral range with the NIR upgrade.
High accuracy
The patented AutoRetarder features precise measurements of Delta over the full range (0-360 degrees) including near 0 and 180 degrees. This ensures the best measurement of any sample type.
Convenient sample loading
The VUV-VASE uses a load lock chamber to load and purge the sample chamber with ease.
Protect your samples
The VUV-VASE is designed with the monochromator before the sample to minimize the light that probes your sample. This helps protect photo-sensitive materials.
Caractéristiques techniques
- Spectral range: 140 to 1100 nm
- NIR extension: to 1700 nm or 2500 nm
- Verticale sample mount
- Motorized angle of incidence goniometer: 25° to 90°
- AutoRetarder
- Ellipsometry, transmittance and reflectance
- Large sample load lock cell: 300 mm wafer, 6"" photo-masks
- XY sample mapping
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