Alpha-SE Ellipsomètre spectroscopique compact
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Alpha-SE Ellipsomètre spectroscopique compact

de Woollam
L'ellipsomètre Woollam Alpha-SE™ est un instrument compact et simple d'usage. Comme son grand frère, le très fréquent et modulaire M-2000™, l'Alpha-SE™ combine la méthode RCE (Rotating Compensator) avec une acquisition rapide par détection CCD. Cela permet des mesures rapides (quelques secondes) de tout le spectre.Caractéristique
  • Usage ex-situ (goniomètre 4 positions fixes)
  • Ellipsomètre à compensateur tournant (RCE)
  • Conception compacte, robuste et précise
  • Tarif avantageux
  • Automatisation en Z

Plus d'informations

L'ellipsomètre Woollam Alpha-SE™ utilise la méthode brevetée dite RCE (Rotating Compensator) pour obtenir des mesures fiables et précises. Cette technique RCE lui assure des mesures ellipsométriques complètes (sans singulairité) pour tout type d'échantillon. Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.

Specification

Spectral range: 380 nm to 900 nm (180 wavelengths) Angle of incidence: 65°, 70° and 75°, as well as straight-through Computer connection: USB (1.1 or higher) Automated sample height adjustment Data acquisition time:
  • 3 sec. (Fast mode)
  • 10 sec. (Standard mode)
  • 30 sec. (Long mode)
Gamme spectrale unique: 380 à 900 nm (180 wavelengths) Station à 4 angles fixes: 65°, 70°, 75° et 90° Positionnement en Z automatiséConnexion simple via USBTemps de mesure 3 sec. à 30 sec. Options
  • cellule liquide
  • adaptation mécanique pour QCM-D
  • système de focalisation
  • porte-échantillon en transmission
  • platine de translation
  • caméra

Applications

Epaisseur de couche, indice complexe du matériau, gradient d'indice, anisotropie, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées Le Alpha-SE™ est compact, robuste et simple d'usage. Il permet d'obtenir de façon précise et répétable de nombreux paramètres des couches étudiées, notamment, l'épaisseur, l'indice complexe du matériau, le gradient d'indice, l'anisotropie, la rugosité d'interface, les coefficients de la matrice de Mueller, la dépolarisation.
Films diélectriques La simplicité et la rapidité de mesure de l'Alpha-SE™ le rendent idéal pour les mesures de routines des films minces.
Monocouches auto-assemblées (S.A.M.) En ellipsométrie spectroscopique, l'information de phase des mesures est fortement sensible pour les couches très fines (< 10nm). Ainsi les SAM peuvent aisément analysées et comparées avec le Alpha-SE™.
Films absorbants Coating on glass

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Spectroscopic ellipsometers product overview
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About Woollam Co.
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Alpha-SE brochure
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