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Interféromètre optique multisurfaces Zygo Verifire MST

Zygo

Verifire MST - interférométrie par accord de longueur d'onde (wavelength shifting ou FTPSI) pour la mesure des optiques transparentes à faces parallèles. Caractérisation simultanée des faces avant et arrière. Mesure de la variation d'épaisseur optique, du wedge et de l'homogénéité du matériau. Le Verifire MST peut mesurer des cavités à 2, 3 et 4 surfaces. Les artefacts dus aux réflections multiples sont naturellement supprimés par l'interférométrie FTPSI.

Caractéristiques
  • Mesures des cavités optiques à 2, 3 et 4 surfaces
  • Disponible en 4" et 6"
  • Gamme complète d'accessoires
  • Optiques de référence planes et sphériques Zygo : qualité lambda/10 PV à lambda/50 PVr. Réflectivité 4% ou DynaFlect. Possibilité de réaliser des optiques à façon

Plus d'informations

Mesurer une lame transparente à faces parallèles produit deux interférogrammes (cavité à 3 surfaces) qui ne peuvent être analysés par l'interférométrie par modulation piézomécanique traditionnelle (mechanical phase-shifting).

Zygo a résolu cette application avec l'interférométrie par accord de longueur d'onde analysée par le traitement breveté FTPSI. Les artefacts dus aux réflections multiples sont naturellement supprimés par l'interférométrie FTPSI. Le Verifire MST peut ainsi mesurer des cavités à 2, 3 et 4 surfaces. Toutes les surfaces sont alors mesurées ou au choix uniquement la surface d'intérêt.

Specification

Applications

Interférométrie par accord de longueur d'onde appelée également par transformée de Fourier (FTPSI) Le Verifire MST peut mesurer des cavités à 2, 3 et 4 surfaces. Les artefacts dus aux réflections multiples sont naturellement supprimés par l'interférométrie FTPSI.
Interféromètre de Fizeau par accord de longueur d'onde (FTPSI) Caractérisation des composants optiques en verre ou plastique (lames, lentilles, miroirs, prismes) en réflexion et transmission. Caractérisation des surfaces métalliques de précision (miroirs, billes, joints), des céramiques polies (moules),  des semi-conducteurs (wafers silicium, déctecteurs optiques)
Forme des sphères optiques ISO 10110-5 Sphères de référence en transmission (TS) de 25 mm, 4" et 6". Qualité lambda/10 PV à lambda/50 PVr. Réflectivité 4% ou DynaFlect. Optiques à façon (qualité, compatible vide, réflectivité).
Interféromètre de Fizeau pour les mesures de plans optiques

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Lionel Sudrie
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