Ellipsométrie spectroscopique


L'ellipsométrie, l'ellipsométrie monochromatique et l'ellipsométrie spectroscopique sont des techniques permettant de déterminer l'épaisseur et les constantes optiques de films minces ou de substrats. Un ellipsomètre, monochromatique ou spectroscopique, mesure les changements de polarisation par réflexion (ou en transmission dans le cas d'échantillons anisotropes).

Nous proposons une grande ... 


L'ellipsométrie, l'ellipsométrie monochromatique et l'ellipsométrie spectroscopique sont des techniques permettant de déterminer l'épaisseur et les constantes optiques de films minces ou de substrats. Un ellipsomètre, monochromatique ou spectroscopique, mesure les changements de polarisation par réflexion (ou en transmission dans le cas d'échantillons anisotropes).

Nous proposons une grande variété d'ellipsomètres spectroscopiques afin de couvrir toutes les applications. L'ellipsomètre VASE, basé sur un monochromateur à balayage, couvre la plus large gamme spectrale disponible : de 140 nm à 4000 nm ce qui fait de lui un instrument parfait pour la recherche tout comme l'IR-VASE (1,7 µm à 35 µm). Les ellipsomètres à détection instantanée (capteur CCD) viennent compléter la gamme. A compensateur tournant simple (M2000 et Alpha-SE) ou double (RC2), ces ellipsomètres sont parfait pour les mesures ex-situ (goniomètre avec porte-échantillons manuels ou automatisés) ainsi que pour les applications in situ (fixation directe sur bâti de dépôt ou à travers une cellule liquide ou environnementale).

Ellipsométrie spectroscopique - Qu’est-ce que l’Ellipsométrie ?
Qu’est-ce que l’Ellipsométrie ?

Qu’est-ce que l’Ellipsométrie ? Cette brève introduction à l'ellipsométrie est destinée aux novices et fournit une description fondamentale des mesures ellipsométrique et des méthodes classiques ...


Ellipsométrie spectroscopique - Theta-SE Carthographie rapide
Theta-SE Carthographie rapide

Le theta-SE est un ellipsomètre spectroscopique presse-bouton pour la caractérisation de l'uniformité des couches minces. Il est doté de toutes les options utiles pour cette application (cartographie ...


Ellipsométrie spectroscopique - iSE Ellipsomètre spectroscopique in situ
iSE Ellipsomètre spectroscopique in situ

L'iSE est un ellipsomètre spectroscopique compact in situ développé pour le suivi de croissance de couches minces en temps réel avec une sensibilité inférieure à l'angstrom.


Ellipsométrie spectroscopique - M-2000 Ellipsomètre Spectroscopique Polyvalent
M-2000 Ellipsomètre Spectroscopique Polyvalent

Le M-2000 offre à la fois vitesse et précision. Le système utilise la technique RCE (Ellipsométrie à compensateur tournant) brevetée et permet la détection CCD de tout le spectre (centaines de ...


Ellipsométrie spectroscopique - RCE Ellipsomètre à double compensateur tournant
RCE Ellipsomètre à double compensateur tournant

Le RC2 est le premier ellipsomètre spectroscopique à double compensateurs tournants ce qui lui permet d’atteindre un niveau de précision ultime et de mesurer les 16 éléments de la matrice de Mueller ...


Ellipsométrie spectroscopique - Alpha-SE Ellipsomètre Spectroscopique de table
Alpha-SE Ellipsomètre Spectroscopique de table

L’Alpha-SE est un instrument presse-bouton extrêmement simple à utiliser et parfait pour les mesures de routine d'épaisseur de couches minces et d'indice de réfraction. Il s’agit d’un système compact ...


Ellipsométrie spectroscopique - VASE large gamme et haute résolution spectrale
VASE large gamme et haute résolution spectrale

Le VASE est l’ellipsomètre le plus précis et le plus polyvalent pour la recherche sur tous les types de matériaux comme les semi-conducteurs, les diélectriques, les polymères, les métaux, les ...


Ellipsométrie spectroscopique - VUV-VASE Ultraviolet sous vide
VUV-VASE Ultraviolet sous vide

L'ellipsomètre spectroscopique à angle variable VUV-VASE® est la référence en matière de caractérisation optique des couches minces lithographiques. Il mesure les longueurs d'onde de l'ultraviolet ...


Ellipsométrie spectroscopique - IR-VASE Ellipsomètre FTIR
IR-VASE Ellipsomètre FTIR

L'IR-VASE est le premier et le seul ellipsomètre spectroscopique à couvrir la gamme spectrale de 1,7 à 30 microns (333 à 5900 nombres d'ondes). L'IR-VASE peut déterminer n et k pour les matériaux sur ...


Ellipsométrie spectroscopique - Ellipsometer for texture Si solar cells T-Solar
Ellipsometer for texture Si solar cells T-Solar

L'ellipsomètre Woollam T-Solar™ est un M-2000™ dont l'intensité lumineuse a été optimisée en vue de la caractérisation des wafers Silicium texturés. Comme le M-2000™, il combine la méthode RCE ...

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