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AFSEM - microscopia correlativa: AFM e SEM

da QD Microscopy

Il sistema AFSEM consente di combinare le possibilità del SEM con quelle della microscopia a forza atomica (AFM). Il dispositivo AFSEM è compatibile con la maggior parte dei sistemi SEM e FIB/SEM presenti sul mercato, aggiungendosi con facilità. Grazie al suo design unico, il sistema AFSEM non interferirà con le altre strumentazioni (ad es. FIB, FEBID, EDX), ma opererà aggiungendo importanti informazioni sulla struttura del campione.

Caratteristiche

Dimensioni: 41 x 110 x 77 mm³ (HxLxW)
Peso: 500g
Area di scansione: 35 x 35 µm² xy (closed loop), 5 µm lungo z
Compatibile con un livello di alto vuoto di 1 x 10-6 mbar
Opera in modalità AC e a contatto

Maggiori informazioni

Il sistema AFSEM standard può lavorare in modalità AC (non contatto) e a contatto, e può essere utilizzato sia per misure di contrasto di fase, sia per quelle di spettroscopia di forza. Si possono persino aggiungere delle nuove funzionalità utilizzando speciali cantilever, come ad esempio quelli per le misure conduttive.
Il sistema AFSEM è facile da usare e offre la massima flessibilità. Infatti, grazie ai tre assi indipendenti, lo stage permette di spostare il cantilever nel campo visivo del SEM. Lo stage del SEM, invece, permette la scansione della regione di interesse da analizzare.

Guarda questo video per dare un'occhiata al mondo di AFSEM. Questa nuova tecnica ti consentirà di eseguire esperimenti unici nel tuo SEM, FIB o microscopio ottico.

Applicazioni

Analisi AFM in situ nel SEM

Le possibilità complementari di SEM e AFSEM consentono di misurare il campione con un’elevata risoluzione laterale, generare profili 3D e ottenere informazioni precise sull'altezza. L'ampio campo visivo del sistema SEM verrà utilizzato per posizionare il cantilever esattamente nella posizione desiderata.

Analisi correlativa SEM-AFM

La peculiarità della microscopia correlativa è quella di assicurare l’utente di misurare la stessa regione di interesse con le varie tecniche a sua disposizione. Questo può essere molto complicato se i sistemi funzionano in modo indipendente e risulta necessario spostare il campione tra i diversi strumenti. AFSEM supera questa difficoltà molto elegantemente poiché viene implementato direttamente dentro il SEM. Il campione viene quindi misurato in SEM e AFM nelle stesse condizioni, il passaggio fra le due tecniche è immediato e facile.