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Ellissometro spettroscopico a doppio compensatore rotante RC2
RC2 Woollam Co.L'RC2 è il primo ellissometro spettroscopico a doppio compensatore rotante. Alle migliori caratteristiche dei sistemi di generazione precedente abbina una tecnologia completamente nuova: doppio compensatore rotante acromatico, sorgenti e spettrometri di ultimissima generazione. L'RC2 è la soluzione praticamente universale per qualsiasi applicazione di ellissometria spettroscopica e Mueller Matrix
Caratteristiche
- Ex-situ, in-situ e in-line
- Tecnologia a doppio compensatore rotante (Dual RCE)
- Sistema modulare con ampia variatà di opzioni e configurazioni
- Range spettrale: fino a 193-2500 nm
- Completamente automatico
Maggiori informazioni
RC2 è il risultato di più di 25 anni di esperienza e sviluppo della Woollam Co. Alle migliori caratteristiche dei sistemi di generazione precedente abbina una tecnologia completamente nuova: doppio compensatore rotante acromatico, sorgenti e spettrometri di ultimissima generazione. L'RC2 è la soluzione praticamente universale per qualsiasi applicazione di ellissometria spettroscopica. Grazie al suo design estremamente modulare, l'RC2 può essere istallato direttamente su una camera di deposizione per misure in-situ, o integrato in uno dei numerosi stage e goniometri ex-situ disponibili. RC2 garantisce misure ellissometriche accurate per qualsiasi tipologia di campione, ed include misure avanzate quali Ellissometria Generallizzata, Matrici di Mueller (16 elementi) e misura della depolarizzazione.
Specifiche
Misure estremamente veloci
La modalità a compensatori rotanti sincronizzati garantisce il massimo dell'accuratezza senza la necessità di eseguire misure multiple. Allo stesso tempo, permette l'acquisizione dell'intero spettro (più di 1000 lunghezze d'onda) in una frazione di secondo. Sorgenti allo stato dell'arte
Le sorgenti di ultima generazione utilizzano un sistema controllato via computer dell'intensità del fascio, garantendo un'ottimizzazione automatica del segnale per qualsiasi tipologia di campione (alta o bassa riflettività). Range spettrali disponibili:
L'acquisizione dello spettro completo è eseguita in circa 1/3 di secondo, incluse anche le modalità avanzate quali Mueller Matrix (completa, 16 elementi) Stage/goniometri ex-situ disponibili
Praticamente tutte le opzioni disponibili sull'M-2000 sono disponibili anche per l'RC2:
La modalità a compensatori rotanti sincronizzati garantisce il massimo dell'accuratezza senza la necessità di eseguire misure multiple. Allo stesso tempo, permette l'acquisizione dell'intero spettro (più di 1000 lunghezze d'onda) in una frazione di secondo. Sorgenti allo stato dell'arte
Le sorgenti di ultima generazione utilizzano un sistema controllato via computer dell'intensità del fascio, garantendo un'ottimizzazione automatica del segnale per qualsiasi tipologia di campione (alta o bassa riflettività). Range spettrali disponibili:
- RC2-U: 245-1000nm
- RC2-D: 193-1000nm
- estensione NIR: fino a 1690nm
L'acquisizione dello spettro completo è eseguita in circa 1/3 di secondo, incluse anche le modalità avanzate quali Mueller Matrix (completa, 16 elementi) Stage/goniometri ex-situ disponibili
- Stage ad angolo fisso: 65°
- Goniometro motorizzato orizzontale: 45° - 90°
- Goniometro motorizzato verticale: 20° - 90°
Praticamente tutte le opzioni disponibili sull'M-2000 sono disponibili anche per l'RC2:
- Stage di movimentazione x-y (con corse da 100mm fino a 450mm)
- Mapping stage R-Theta motorizzati
- Focusing probe
- Cella per liquidi
- Celle per misure in temperatura
- Etc...
Applicazioni
costanti ottiche e spessori, anisotropia, gradienti di costanti ottiche, composizione
L'RC2 è un ellissometro estremamente accurato per la determinazione di costanti ottiche, spessori, anisotropie ottiche, gradienti di costanti ottiche, composizione, grado di cristallinità, etc...
misure di omogeneità
In combinazione con mapping stage motorizzati è possibile determinare l'omogeneità dei campioni in termini di spessore, costanti ottiche, etc...
misure dinamiche
cinetiche di adsorbimento/desorbimento
Misure dinamiche in-situ sono possibili sia su camere di deposizione/crescita UHV, sia in combinazione con celle per misure in liquido o in funzione della temperatura. Ciò permette l'esecuzione di misure real-time di processi di adsorbimento/desorbimento di molecole in ambiente liquido, o misure in funzione della temperatura nell'ambito di processi quali transizioni di fase, o determinazione della temperatura di transizione vetrosa per polimeri e materiali sol-gel.
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Ing.
Alessandro
Baratti
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