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Ellissometro Spettroscopico per mappatura veloce theta-SE

da Woollam Co.

Il sistema theta-SE è un ellissometro spettroscopico automatizzato per la caratterizzazione dell'uniformità di film sottili. Il theta-SE è un sistema di ellissometria avanzata caratterizzato da un design molto compatto e da un costo accessibile.

Caratteristiche

Completamente integrato
Elevata velocità di misura
Design compatto
Low-cost
Easy-to-use

Maggiori informazioni

L’ellissometro theta-SE è dotato di un mapping stage motorizzato da 300m di diametro, di un sistema di allineamento del campione automatico e veloce, di una camera look-down e dalla più recente tecnologia ellissometrica Dual-Rotation di Woollam. Prevede, inoltre, un fascio con piccolo spot di misura.

Il mapping stage 2-Theta motorizzato permette di determinare l'omogeneità dei campioni fino a 300 mm di diametro in termini di spessore, costanti ottiche, etc...

Specifiche

Range spettrale: 400 nm - 1000 nm
Numero di lunghezze d’onda misurate simultaneamente: 190
Detector: CCD
Dimensione dello spot: 250 x 600µm (sul campione)
Tipo di dati: Spectroscopic ellipsometry and advanced g-SE or MM-SE
Velocità di acquisizione (per singola misura e per l’intero spettro): 0.3 sec (fastest), 1-2 sec (typical)
Angolo di incidenza: 65°