Hitachi High Technologies nella microscopia elettronica

Partiamo con la strumentazione per la preparativa dei campioni. ArBlade 5000 e IM4000Plus sono i dispositivi per lavorare i campioni tramite fresatura ionica. ZONESEM II e ZONETEM invece prevengono le contaminazioni esterne. Infine c’è lo ion sputterMC1000 per facilitare l’analisi dei campioni non conduttivi.

Per quanto riguarda i SEM, la Hitachi con la serie TM è stata la prima ad introdurre i SEM da banco di piccola taglia. Nella filosofia di Hitachi, essi sono pensati come strumenti che chiunque può usare, facilmente installabili e dal prezzo contenuto. La Hitachi non si limita solo ai SEM da banco e offre anche modelli più avanzati, dal FlexSEM fino ad arrivare al SU9000: microscopio con sorgente ad emissione di campo ad ultra alta risoluzione (< 1 nm).

Quando la tecnologia del SEM viene accoppiata anche con quella FIB, nascono i sistemi SEM-FIB di Hitachi. La preparazione dei campioni diventa più veloce ed intuitiva, precisa a scala nanometrica, e virtualmente priva di artefatti. Modelli di punta da annoverare sono sicuramente il NX5000 e il NX2000, con sorgente di elettroni ad emissione di campo e sistema a fascio triplo. Il SEM Hitachi viene anche abbinato anche a dispositivi nanoprobes, per creare il Nano-probing System NE4000 nanoEBAC, finalizzato all’analisi EBAC.

Infine i TEM. Sono poche le aziende rimaste nel mondo capaci di commercializzarne dei modelli. L’offerta di Hitachi anche stavolta è vasta, si inizia con i modelli a sorgente termoionica H-9500 e HT7800, dal design innovativo pensato per il numero più vasto possibile di applicazioni. Successivamente il HF-3300 ad emissione di campo, che consente di misurare simultaneamente gli elettroni secondari. Seguono i modelli con correttore delle aberrazioni, quali il HD-2700 e il HF5000: modello di punta che raggiunge una risoluzione di 0.078 nm.