Quorum Sputter Coater Q300-Serie – große Substrate oder sequentiell

Die Sputter Coater der Q300-Serie haben einen extra großen Glasdurchmesser für die Beschichtungen von großen Substraten.

In den Modellen Q300RT bzw. TT sorgen drei Magnetronköpfe für ein gleichmäßiges Sputtern. Verschiedene optionale Probentische erlauben eine effiziente und reproduzierbare Beschichtung von bis zu 6″-Wafern.

Durch die Vorgabe des Vakuums für den Sputterprozess entfällt die Einstellung der Prozessgasmenge mit einem Nadelventil. Je nach eingestellter Gasmenge (Vakuum) wird der Sputterstrom automatisch auf die gewünschte Höhe (mA) nachgeregelt. Dadurch kann man bei hoher Probentopographie auch diffus und mit geringem Sputterstrom arbeiten.

Die Geräte Q300TD arbeiten mit zwei Magnetronköpfen für die sequentielle Beschichtung mit zwei verschiedenen Materialien ohne Vakuumbruch. Die Beschichtungssequenz kann über einen Schichtdickenmonitor, die Zeit oder die Kombination Schichtdickenmonitor/Zeit gesteuert werden.

Der Beschichtungsablauf erfolgt vollautomatisch und garantiert reproduzierbare Schichten.