BSE-Detektoren für die REM –Solid State oder Photomultiplier?

Unser Lieferant Deben bietet verschiedene Möglichkeiten, um ein REM mit einem BSE-Detektor auszustatten. BSE steht für „backscattered electron“ wobei der zu sehende Bildkontrast aus einer Kombination der Topographie und der chemischen Zusammensetzung der Probe besteht. Es stehen zwei verschiedene Architekturen zur Verfügung: ein Solid State 4-Quadranten-Detektor oder ein Photomultiplier (PMT).

Der Vorteil des Solid State BSE-Detektors ist die Flexibilität in der Datenerfassung. Insgesamt stehen sechs Eingangs- und drei Ausgangskanäle zur Verfügung, so dass gerade erfahrene Anwender großen Spielraum bei der Erfassung der Daten haben. Mit dem integriertem FIND-Modus kann man zudem schnell und unkompliziert auf Knopfdruck erste Eindrücke der Probe erhalten.

Der PMT BSE-Detektor bietet die Möglichkeit, zusätzlich zum BSE-Modus noch einen Kathodenlumineszenzsensor zu implementieren. Die Umrüstung geht schnell, ist einfach und kann vom Anwender direkt durchgeführt werden.

Fragen zu den BSE-Detektoren beantwortet Ihnen Dr. Andreas Bergner gern.

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