Neu in unserem Demolabor – Sputter Coater Q150V ES Plus für feinste Schichten

Nachdem Quorum Technologies im September letzten Jahres die nächste Gerätegeneration ihrer Sputter Coater auf den Markt gebracht hat, haben wir unser Demolabor nun mit dem Topmodell – dem Q150V ES Plus – ausgerüstet. 

Dieser ganz neu entwickelte Sputter Coater kann ein deutlich besseres Endvakuum (1x10-6 mbar und besser) erreichen als das bisher führende Modell aus der T-Serie, wodurch noch feinere, dünne Schichten gesputtert oder aufgedampft werden können. Dadurch werden zum Beispiel hochaufgelöste SEM-Anwendungen bei Vergrößerungen >200.00-fach mög­lich. Als Sputtermaterial stehen mehrere Metalle zur Auswahl. Neben den gängigen Materialien wie Gold, Platin, Gold/Palladium, können wir auch Chrom, Aluminium, Wolfram, Silber, ITO und weitere Metalle oder Oxide (auf Anfrage) sputtern. Zusätzlich zur Kohlefaden- und Kohlestabverdampfung kann unser Q150V ES Plus auch mit einer Metallverdampfungseinheit ausgerüstet werden. 

Hierbei werden Metalle z.B. aus einem Wolframdrahtkörbchen verdampft. Die verschiedenen Einsätze, Sputter- oder Verdampfungsköpfe, können mit wenigen, einfachen Handgriffen getauscht und der Sputter Coater so blitz­schnell für einen anderen Prozess um­gerüstet werden. 

Über einen Schicht­dickenmonitor können wir die verschiedenen Prozesse bei bestimmten Schichtdicken automatisch termi­nieren. Die planetarische Pro­ben­bühne RotaCota ermöglicht eine gleichmäßige Beschichtung von Pro­ben mit starker Topologie. 

Machen Sie sich selbst ein Bild von den Möglichkeiten und vereinbaren Sie mit mir einen Demo­termin.

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Stephane Struyve
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