Der Hersteller plasma technologyaus Herrenberg bietet Plasmageräte als ideale Lösung für das Labor in der akademischen sowie industriellen Forschung und Entwicklung an. Eine intuitive und leichte Bedienung, Überwachung der Prozessparameter sowie eine große Bandbreite von Modellen zeichnet die Serien „SmartPlasma“ und „MiniFlecto“ aus.

Beide Serien wurden umfangreich weiterentwickelt:

• Überarbeitetes Menü: Jetzt übersichtlicher sowie mit mehr Informationen über den laufenden Prozess
• Neue Funktionen: Einstellbarer Abpumpdruck und Stabilisierungszeit, Zusammenfassung der IST-Werte des aktuellen Prozesses am Ende der Behandlung
• Volle Prozessüberwachung (Gasfluss, Druck, Plasmagenerator, Sicherheitskreis)
• Webserver zur Remotesteuerung mit Statusanzeige der Ein- und Ausgänge
• Upgrade auf Mass-Flow-Controller möglich

Vor allem aber ist der MiniFlecto eine unschlagbar kostengünstige und leistungsstarke Alternative zu gängigen TEM-Probenhalter-Plasmareinigern.

Typische Beispiele für eine Plasmabehandlung sind:  

• Kontaminationsfreie Experimente im Hochvakuum
• Aktivierung von MEMS-Chips und TEM-Netzchen
• Hydrophilisierung von MEMS Chips und TEM-Netzchen
• Behandlung von Schliffen für REM

Die Prozessüberwachung garantiert dabei reproduzierbare Ergebnisse.

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