Kompaktes Ellipsometer für schnelles Probenmapping

Mit dem neuen theta-SE bietet Woollam ein spektroskopisches Ellipsometer an, welches sehr schnelles Probenmapping mit hochpräziser „dual rotating element“-Technologie verbindet, und das in sehr kompakter Bauweise. Die Standfläche ist nicht größer als beim kompakten Alpha-SE und somit nur geringfügig größer als ein 300 mm Wafer. Zusätzliche sperrige Steuereinheiten – ob auf oder unter dem Tisch – sind nicht erforderlich.

Der zum Patent angemeldete automatiserte Dual-Theta-Drehtisch ermöglicht ein vollständiges 300 mm-Mapping. Der hohe Probendurchsatz wird durch die schnelle Punkt-zu-Punkt-Translation, die automatisierte Probenjustage und die Dual-Rotation-Ellipsometer-Technologie (für die kontinuierliche Datenerfassung) erreicht.

Die automatisierte Datenanalyse und das integrierte Reporting ermöglichen die Bedienung per Knopfdruck und den schnellen Zugriff auf die Messergebnisse. Damit lassen sich z.B. 150 Messpunkte auf einem 300 mm-Wafer innerhalb weniger Minuten abrastern (inkl. Datenauswertung).

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Schematische Darstellung der schnellen kamera-basierenden Probenjustage

Hier einige Gerätekenngrößen:

  • Spektralbereich: 400 nm bis 1000 nm
  • Anzahl der Wellenlängen: 190
  • Detektion: CCD
  • Kürzeste Messzeit für ein komplettes Spektrum: 0,3 s
  • Spotgröße: ~250 µm x 600 µm
  • Datentypen: Spektroskopische Ellipsometrie, generalisierte Ellipsometrie, Mueller Matrix

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