La litografia in greyscale con i fotolitografi a scrittura diretta MicroWriter ML3
I MicroWriter ML3 prodotti da Durham Magneto Optics (DMO) sono strumenti in grado di realizzare strutture micro- e nano-metriche ad elevata precisione e senza la necessità di produrre, per ciascun disegno, un’opportuna maschera, semplificando e riducendo drasticamente i tempi e i costi di realizzazione dei campioni. Questo definisce tali sistemi come litografi a scrittura diretta.
Ideati dalla mente del Professore Russel Cowburn, depositario di più di 60 brevetti e membro della Royal Society del Regno Unito, questi fotolitografi sono stati progettati per essere estremamente modulari, altamente automatizzati e con la velocità di scrittura più elevata attualmente in commercio grazie all’implementazione della tecnologia Digital Light Processing (DLP) e al Microchip DMD (digital Micromirror Device) ricoperto da un milione di microspecchi.
Ogni prototipo potrà essere realizzato scegliendo una tra le cinque diverse modalità di scrittura:
- Raster Scan
- Vectorial
- Multi-pass
- Serpentine
- In greyscale
La scrittura in greyscale permette di esporre alcuni pixel a dosi parziali di radiazioni, questo ne causa uno sviluppo incompleto, consentendo così di realizzare strutture a differenti dimensionalità.
Nei sistemi MicroWriter ML3, per garantire l’esecuzione della scrittura alle tonalità prestabilite, la sorgente di luce lavora in sinergia con la tecnologia DLP, agendo sulle posizioni assolute dei microspecchi: ogni singolo microspecchio può essere controllato singolarmente per essere mosso all’interno e all’esterno del campo di scrittura, in questo modo si è in grado di impulsare l’emissione di radiazione unitamente alla dose da somministrare.
In questa modalità si ha accesso a 256 livelli di grigio, sufficienti a garantire strutture estremamente definite e a produrre bordi altamente levigati.
Immagini SEM di strutture realizzate in modalità Scala di Grigi a 256 livelli
