Alpha 2.0 – Weiterentwickeltes Ellipsometer für Routinemessungen
Das Alpha 2.0, ein neues, weiterentwickeltes spektroskopisches Ellipsometer, ersetzt das sehr erfolgreiche Vorgängersystem alpha-SE und ist eine kostengünstige Option für Routinemessungen von Schichtdicke und Brechungsindex dünner Schichten. Das alpha 2.0 ist aufgrund seiner kompakten Bauweise und seines einfachen Aufbaus leicht zu bedienen und nutzt gleichzeitig die Vorteile der spektroskopischen Ellipsometrie. Es wurde für eine einfache Handhabung konzipiert: Einfach die Probe auf den Messtisch legen, das passende Modell auswählen, auf "Messen" klicken und in Sekundenschnelle die Ergebnisse erhalten.
Die Technologie mit zwei rotierenden Elementen – rotierender Kompensator und rotierender Analysator – garantiert hochpräzise Messungen, einschließlich der Müller-Matrix.
Mittels CCD-Detektion wird der gesamte Spektralbereich von 400 bis 1000 nm mit 190 Wellenlängen simultan innerhalb von 5-10 Sekunden gemessen. Neben drei manuell einstellbaren Einfallswinkeln von 65°, 70° und 75° – das System verfügt über Sensoren, die eine falsche Winkeleinstellung verhindern – unterstützt das System auch Transmissionsmessungen (Ellipsometrie und Intensität).
Durch die kleine, kompakte Bauweise mit einer Grundfläche von Grundfläche <50 cm x 35 cm findet es in jedem Labor Platz.
Die Steuerung und Datenauswertung erfolgt mit der äußerst leistungsfähigen Software CompleteEASE, die bereits beim Vorgängermodell Alpha-SE und auch bei den „großen“ Systemen M-2000 und RC2 zum Einsatz kommt. Hierzu bieten wir auch regelmäßige Auswerte-Schulungen an.
