Dual-Target-Sputter Coater Q300T D Plus zu verkaufen
Wir verkaufen einen Quorum Sputter Coater Q300T D Plus, der bisher als Vorführgerät diente. Hierbei handelt es sich um ein Gerät mit großer Kammer (für Wafer bis 8“ Ø) und zwei unterschiedlichen Targets zur sequentiellen Beschichtung. Damit können unbegrenzt viele Schichten der beiden Targetmaterialien nacheinander automatisiert aufgebracht werden (s. Abb.). Speichern Sie bis zu 1000 Rezepte für diverse Schichtsysteme und rufen Sie sie reproduzierbar ab.
Der Q300T D Plus hat eine integrierte Turbopumpe. Im Lieferumfang sind ein Chrom- und ein Goldtarget enthalten. Chrom eignet sich sehr gut als Haftvermittler für gesputterte Goldschichten. Mit der „Swinging-Arm-Stage“ wird der 4-Zoll-Probenteller während des Prozesses zwischen den beiden Targets hin- und hergefahren, so dass die Proben zur richtigen Zeit am richtigen Target sind.
Lieferumfang:
- Integrierte Turbopumpe
- Chromtarget
- Goldtarget
- „Swinging-Arm-Stage“ mit 4”-Waferbühne
- Vorpumpe
- Anleitung
- Schläuche für Vakuumpumpe und Prozessgase
Der Sputter Coater kommt mit einer Gewährleistung von sechs Monaten und zu einem attraktiven Preis.
