Hochleistungsdetektoren für REM- und TEM-Systeme

Unser Lieferant Advacam/Advascope stellt mit dem ePix und dem ePix EFE zwei Hochleistungsdetektoren für die Elektronenmikroskopie (REM & TEM) vor. Die Detektoren können für nahezu alle gängigen Anwendungen konfiguriert werden. Dazu gehören:

  • 2D/4D STEM in SEM/TEM
  • EBSD
  • EELS
  • Ptychographie
  • µED
  • µCT and nanoCT

Die ePix-Detektoren basieren auf der dritten Generation der Timepix-Technologie. Advacam ist Gründungsmitglied des CERN Medipix Consortiums und die einzige Firma, die eine Lizenz für jede Timepix-Generation besitzt.
Die ePix-Detektoren verwenden datengesteuertes Auslesen, wobei jedem Elektron ein Zeitstempel mit präzisen Positions- und Energieinformationen zugewiesen wird. Die Detektoren bieten einen praktisch unbegrenzten Dynamikbereich und eine um Größenordnungen bessere Empfindlichkeit bei niedrigen keV-Werten im Vergleich zur indirekten Elektronenerfassung. ePix kombiniert eine leistungsstarke Auslesearchitektur mit einem innovativen und robusten Detektordesign und schafft so den ultimativen Detektor für Elektronenmikroskopie-Anwendungen mit hohem Durchsatz, hoher Auflösung und hoher Empfindlichkeit. Hauptvorteile dabei sind:

  • Einzelelektronenempfindlichkeit
  • Großer Raumwinkel auf kleinstem Raum
  • Hohe räumliche Auflösung
  • Ultraschnelle Auslesegeschwindigkeit

Die Detektoren können schnell und einfach in bestehende REM- oder TEM-Systeme integriert werden und über ein offenes SDK in bestehende Softwarelösungen integriert und ausgelesen werden. Ebenso steht auch eine eigenständige Softwarelösung zur Verfügung.
Der Energiebereich des Detektors beträgt 2,5-300 keV und die Pixelgröße ist 55 µm x 55 µm. Dies ergibt bei einer Pixelmatrix von 256 x 256 eine Sensorgröße von 14 mm x 14 mm. Die Dicke des Si-Sensors kann im Bereich von 100-500 µm je nach gewünschter Anwendung variiert werden. Jeder Detektor wird in enger Absprache mit unseren Kunden entwickelt, um das bestmögliche Ergebnis zu erzielen.

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Julien Dumouchel
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