Abb.1: Phenom XL
Mit dem euzentrischen Probencontainer bietet der Hersteller Phenom-World ein völlig neues Konzept zur Bewegung von Proben im REM an. Die neue Stage mit vier zusätzlichen, motorisierten Achsen ist in einem speziellen, aktiven Phenom XL-Probencontainer integriert. Aufwändige Montagen, Verkabelungen, Justagen oder Veränderungen sind am Phenom XL nicht erforderlich („plug and move“).
Phenom XL – euzentrische Stage mit vier motorisierten Achsen
Denkbar einfach können die Anwender entweder mit dem Standard-Probencontainer oder der euzentrischen Stage arbeiten. Über die auf der Rückseite des Probencontainers platzierten Kontakte wird die Stage angesteuert. Das Phenom XL erkennt beim Einschleusen, welcher Probencontainer genutzt wird.
Bisher waren In-situ-Bewegungen von Proben im REM ein riskantes Unterfangen, da immer die Gefahr des Orientierungsverlusts, einer Detektorkollision und der Beschädigung der Probe bestand. Die Bedienoberfläche für die euzentrische Stage setzt hier neue Maßstäbe in Ergonomie und Sicherheit. Die Software limitiert die Bewegung der Probe in Abhängigkeit von den Probendimensionen und verhindert damit effektiv potentielle Kollisionen. Außerdem wird dem Anwender permanent die tatsächliche Position (Höhe, Neigung, Rotation, Euzentrik) in 3D angezeigt. Somit ist eine optimale Orientierung auf der Probe während der In-situ-Bewegung stets gewährleistet.
Abb. 3: Phenom XL Tilt&Rotation-Bedienoberfläche mit 3D-Visualisierung
Das integrierte Digitalmikroskop des Phenom XL nimmt die Probenoberfläche direkt nach dem Einschleusen der Probe automatisch auf. In der 3D-Visualisierung wird diese Aufnahme zusammen mit der euzentrischen Kippachse auf den Probenteller projiziert. Das macht eine schnelle exakte Justage der Probe denkbar einfach.
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