Sputter-Targets / Materialien
Durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) können Proben bzw. Substrate mit einer großen Bandbreite an Metallen / Metall-Legierungen oder elektrisch leitende Materialien beschichtet werden. Das Beschichtungsmaterial wird als Sputter-Target bezeichnet.
- Targets für alle aktuellen Quorum Geräte
- Scheibentargets (Ø 57mm) auch für ältere Modelle von Quorum/Emitech/Polaron/…
- Hochreine Metalle/Legierungen
- Große Auswahl an Materialien
- Weitere Materialien und Maße auf Anfrage
Spezifikationen
| Scheibentargets (Ø 57mm) |
|---|
| Nutzbar für: E5000 / E5200 / E5400/ SC502/ SC7610 / SC7620 / Q150R (S/ES) Plus / Q150T (S/ES) Plus / Q150V (S/ES) Plus / Q300T(D/T) Plus* / K5 75X(XD*) / K675X(XD)* / SC3000 |
| Gold / (Au) |
| Gold/Palladium (80% / 20%) / (Au / Pd) |
| Gold/Palladium (60% / 40%) / (Au / Pd) |
| Platin / (Pt) |
| Platin/Palladium (80%/20%) / (Pt / Pd) |
| Palladium / (Pd) |
| Silber / (Ag) |
| Kupfer / (Cu) |
| Nickel / (Ni) |
| Scheibentargets (Ø 57mm) für Hochvakuum Sputter Coater |
|---|
| Für den Einsatz in folgenden Geräten: Q150T (S/ES) Plus / Q150V (S/ES) Plus / Q300T(D/T) Plus* / K575X(XD*) / K675X(XD)* / SC3000 |
| Aluminium / (Al) |
| Kohlenstoff / (C) |
| Chrom / (Cr) |
| Cobalt / (Co) |
| Indium Zinnoxid (ITO) |
| Iridium / (Ir) |
| Eisen / (Fe) |
| Magnesium / (Mg) |
| Molybdän / (Mo) |
| Wolfram / (W) |
| Titan / (Ti) |
| Tantal / (Ta) |
| Zinn/ (Sn) |
Weitere Materialien und Maße auf Anfrage.
* Diese Geräte benötigen für den Betrieb 2 verschiedene bzw. 3 gleiche Targets.
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