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Dünnschicht-Spannungsmesssysteme FLX Flexus

Die Toho-FLX-Dünnschicht-Spannungsmesssysteme bieten die Möglichkeit Filmstress sowie den linearen Ausdehnungskoeffizienten von Dünn- und Dickfilmen auf Silizium-Wafern und anderen Substraten optisch ...

Dr. Jürgen SchlütterGeschäftsführer
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