AFSEM nano – Korrelierte AFM- & SEM-Analyse jetzt auch in Stanford

Unser AFSEM nano-System wurde als vorgezogenes Weihnachtsgeschenk Anfang Dezember an der Universität Stanford installiert.
Unter der Leitung von Prof. Dr. Fritz Prinz befasst sich die Arbeitsgruppe für Nanoscale Prototyping mit grundlegenden Fragestellungen zur Energieumwandlung und -speicherung im Nanobereich. Durch die Integration des AFSEM nano in das bereits vorhandene Thermo Fischer Scientific Teneo-SEM werden die Möglichkeiten der Materialcharakterisierung signifikant erweitert. Dabei steht die gezielte Analyse neuartiger Halbleiter-Bauelemente durch korrelierte AFM- und SEM- Messungen im Fokus der geplanten Forschungsaktivitäten. Das AFSEM nano liefert Informationen über die 3D-Topographie, sowie über mechanische, elektrische und magnetische Eigenschaften der Nanostrukturen – und das alles innerhalb des SEM.

Zusätzlich kann das AFSEM nano auch mit der bereits vorhandenen Kleindiek Nanoprobing-Plattform kombiniert werden, wodurch die Bauelemte bestromt und damit auch im laufenden Betrieb untersucht werden können. Durch diese neuen Möglichkeiten erhoffen sich die Wissenschaftler der Uni Stanford neue Erkenntisse für die Weiterentwicklung von Energiespeichern.

Über das AFSEM nano

Quantum Designs AFSEM nano ist die logische Weiterentwicklung des innovativen AFSEM-Konzepts. Der kompakte Messkopf erlaubt die einfache Integration in bestehnde SEM- und FIB-Systeme und kombiniert die komplementären Stärken beider Mikroskopiemethoden.
Dadurch ergeben sich völlig neue Einblicke in die Mikro- und Nanowelt und ermöglichen dem Benutzer in-situ Charakterisierungen von mechanischen, elektrischen oder magnetischen Eigenschaften mit Nanometer-Genauigkeit.
Gerne sprechen wir auch mit Ihnen über die Möglichkeiten und Vorteile, die die korrelierte SEM/AFM-Analyse für Ihre  Anwendungen bietet.

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Dr. Chris Schwalb
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