Für die Vorbereitung elektronenmikroskopischer Proben werden je nach Anwendung ein Sputter Coater (Metallbeschichtung) oder ein Kohleverdampfer (Kohlebeschichtung) eingesetzt, um nichtleitende Proben leitfähig zu machen. Entscheidend sind eine einfache Bedienung sowie ein möglichst hoher Automatisierungsgrad.
Welches Elektronenmikroskop nutzen Sie?
Die Wahl des geeigneten Beschichters richtet sich nach dem eingesetzten Mikroskop:

• Tabletop-REM mit niedriger Auflösung: MiniQ S für Goldbeschichtungen im Vorvakuum.
• REM mit Wolframkathode bis 50.000-facher Vergrößerung: RotaQ S mit Goldtarget.
• Bis 100.000-fache Vergrößerung: RotaQ S mit Platintarget (längere Evakuierungszeit erforderlich).Über 100.000-fache Vergrößerung oder hohem Probendurchsatz: TurboQ S mit Turbomolekularpumpe für Hochvakuumanwendungen und besonders feine Schichten aus Gold, Platin, Chrom, Iridium oder Wolfram.
• FEG-REM oder TEM: Einsatz eines Hochvakuumbeschichters (TurboQ) empfohlen.

Metall- oder Kohlebeschichtung?

Metallbeschichtungen (z. B. Gold oder Platin) eignen sich für hochauflösende REM-Untersuchungen, können jedoch EDX-Analysen durch zusätzliche oder abgeschirmte Röntgensignale beeinflussen.
Kohlebeschichtungen sind für EDX-Anwendungen vorteilhaft, da Kohlenstoff die Röntgenanalyse nur gering beeinflusst. Für Tabletop-REM sowie Wolfram- oder LaB₆-Mikroskope eignet sich der RotaQ E mit Kohlefaden. Für Hochvakuumanwendungen sowie besonders reine und stabile Kohlefilme – beispielsweise für EBSD oder TEM-Trägerfilme – empfiehlt sich der TurboQ E mit Kohlestab.

Kombigeräte

Für Anwendungen, die sowohl Metall- als auch Kohlebeschichtungen erfordern, stehen die Kombisysteme RotaQ ES und TurboQ ES zur Verfügung.

Weitere Aspekte

Die Geräte der QCoat-Serie verfügen über automatische Rezeptvorschläge und speichern individuelle Prozessparameter. Der Schichtdickenmonitor zur Prozesssteuerung mittels Schwingquarz ist bereits im Lieferumfang enthalten.
Bei Unsicherheiten empfiehlt sich eine Testbeschichtung oder ein Besuch unseres Demolabors in Pfungstadt.

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