Dünne Schichten – Stressmessungen an kleinen Proben

Die meisten Dünnschicht-Stressmesssysteme sind bezüglich der messbaren Probengröße limitiert. Mit Hilfe des Flexus 2320 und des Flexus 3300 ist die Bestimmung der Eigenspannungen bei Waferdurchmessern bis 200/300 mm problemlos möglich.

Gemäß dem Mooreschen Gesetz sind jedoch oftmals auch kleine Probendurchmesser von Interesse. Mit Hilfe eines speziell angefertigten Tisches können auch Proben mit einem Durchmesser bis zu 1″ in den Flexus-Systemen von Toho vermessen werden.

Sofern die Oberfläche ausreichend reflektierend ist, einen Scanbereich von mindestens 1″ zulässt und die aufgebrachte Schicht in einer detektierbaren Biegung der Probe resultiert, kann der Flexus sowohl den Krümmungsradius als auch den induzierten Stress mit Hilfe der Stoney-Gleichung bestimmen.

Gerne helfen wir Ihnen bei Ihrer konkreten Applikation.

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