Zygo Verifire XL Fizeau-Interferometer für große Planflächen
Um Tragkörper oder optische Planflächen mit Durchmessern größer 300 mm schnell und zuverlässig zu vermessen, bietet Zygo mit dem Verifire XL eine neue Interferometer-Workstation an.
Solche Messaufgaben stellen sich z. B. in der Produktion von großen Spiegeln, optischen Fenstern, Laseroptiken oder bei der Tragkörperfertigung.
Weitere Einsatzgebiete sind die Vermessung von Halbleiter-Wafern oder Wafer-Chucks. Auch in der ultrapräzisen, mechanischen Fertigung von z. B. Dichtungsflächen, kann der Verifire XL für die Qualitätsprüfung eingesetzt werden.
Das Gerät erfasst in einem Messvorgang sekundenschnell die gesamte Fläche und liefert die Ebenheitsparameter sowie eine 2D- oder 3D-Darstellung der Abweichung von der eingebauten Referenzfläche. Die mitgelieferte Software MX steuert die Datenaufnahme und bietet eine Vielzahl von Analysefunktionen. Auf Grund seiner kompakten Abmessungen benötigt der Verifire nur eine geringe Stellfläche. Zudem ist die eingesetzte Messtechnologie robust gegen typische Vibrationseffekte im Fertigungsumfeld, so dass einem produktionsnahen Einsatz nichts im Wege steht.
Ihr Kotakt:
Torsten Glaschke
06151 8806-51
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