Sputter-Targets / Materialien
Durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) können Proben bzw. Substrate mit einer großen Bandbreite an Metallen / Metall-Legierungen oder elektrisch leitende Materialien beschichtet werden. Das Beschichtungsmaterial wird als Sputter-Target bezeichnet.
- Targets für alle aktuellen Quorum Geräte
- Scheibentargets (Ø 57mm) auch für ältere Modelle von Quorum/Emitech/Polaron/…
- Hochreine Metalle/Legierungen
- Große Auswahl an Materialien
- Weitere Materialien und Maße auf Anfrage
Spezifikationen
Scheibentargets (Ø 57mm) |
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Nutzbar für: E5000 / E5200 / E5400/ SC502/ SC7610 / SC7620 / Q150R (S/ES) Plus / Q150T (S/ES) Plus / Q150V (S/ES) Plus / Q300T(D/T) Plus* / K5 75X(XD*) / K675X(XD)* / SC3000 |
Gold / (Au) |
Gold/Palladium (80% / 20%) / (Au / Pd) |
Gold/Palladium (60% / 40%) / (Au / Pd) |
Platin / (Pt) |
Platin/Palladium (80%/20%) / (Pt / Pd) |
Palladium / (Pd) |
Silber / (Ag) |
Kupfer / (Cu) |
Nickel / (Ni) |
Scheibentargets (Ø 57mm) für Hochvakuum Sputter Coater |
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Für den Einsatz in folgenden Geräten: Q150T (S/ES) Plus / Q150V (S/ES) Plus / Q300T(D/T) Plus* / K575X(XD*) / K675X(XD)* / SC3000 |
Aluminium / (Al) |
Kohlenstoff / (C) |
Chrom / (Cr) |
Cobalt / (Co) |
Indium Zinnoxid (ITO) |
Iridium / (Ir) |
Eisen / (Fe) |
Magnesium / (Mg) |
Molybdän / (Mo) |
Wolfram / (W) |
Titan / (Ti) |
Tantal / (Ta) |
Zinn/ (Sn) |
Weitere Materialien und Maße auf Anfrage.
* Diese Geräte benötigen für den Betrieb 2 verschiedene bzw. 3 gleiche Targets.
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CH-1723 Marly
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