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Spin Coater

Spin Coater sind ideale Werkzeuge zur Herstellung dünner und ultradünner Filme für viele Anwendungen, insbesondere für spektroskopische Untersuchungen (optisch, IR, Röntgen, dielektrisch etc.)

Eigenschaften

Leerlaufdrehzahl bis zu 13500 U/min
Passive oder aktive Vakuumansaugung
Interne Drehzahlprogramme
Große Auswahl an speziellen Probentischen (Chucks)

Weitere Informationen

Der Spin Coater SCI-225mini ist ein kompaktes Routinegerät mit einer maximalen Leerlaufdrehzahlen von 13.500 U/min. Durch eine spezielle Konstruktion (Radialbohrungen) der Tische wird bei mittleren bis hohen Drehzahlen eine passive Vakuumansaugung erreicht.

Die Modelle SCR, SCE-150 und SCC-200 haben die Möglichkeit der aktiven Vakuumfixierung der Substrate durch eine externe Vakuumpumpe. Der SCE-150 bietet eine programmierbare Rampenfunktion und ein einstellbares Drehzahlplateau. Der SCC-200 kann zehn Programm-Routinen speichern.

Anwendungen

Mit Spin Coatern lassen sich Filme reproduzierbarer Dicke aus verschiedensten Materialen (Foto- und andere Lacke, Polyimide, Sol-Gele, usw.) auf nahezu jeder Art Substrat (Kupfer, Silikon, Glas, Plastik, etc.) aufbringen. Beim Spin-Coating werden diese flüssigen oder auch pastösen Substanzen auf das sehr schnell rotierende Substrat aufdosiert. Infolge der auftretenden Fliehkräfte werden diese Substanzen radial nach außen geschleudert; dabei bleibt ein dünner Substanzfilm (nm - µm) auf dem Substrat zurück. Spin Coater sind damit ideale Werkzeuge zur Herstellung dünner und ultradünner Filme für viele Anwendungen, insbesondere auch für spektroskopische Untersuchungen (optisch, IR, Röntgen, dielektrisch etc.)