Akurate und verlässliche Schichtspannungsmessungen – seit über 20 Jahren Industriestandard
Die Flexus Dünnschicht-Stressmesssysteme von Toho (vormals Tencor) wurden speziell für akurate und verlässliche Eigenspannungsmessungen von dünnen Schichten entwickelt und sind seit über 20 Jahren der Industriestandard.
Alle Flexus Systeme arbeiten mit zwei hochintensiven Lasern, die auf lediglich einem beweglichen Transferelement montiert sind. So werden neben dem Rauschen auch Vibrationseffekte minimiert und die Stabilität des Flexus verbessert, was sich in der langjährigen Nutzung der Systeme widerspiegelt.
Die Windows-7-basierte Analyse-Software WINFLX ist netzwerkkompatibel, ermöglicht eine Vielzahl von Datenanalysemethoden und macht den Export und Transfer von Messdaten zum Kinderspiel.
Derzeit gibt es vier unterschiedliche Modelle zur Auswahl. Probengröße und die Messung bei erhöhten Temperaturen sind entscheidende Faktoren bei der Wahl des richtigen Systems.
Modellübersicht
- QQ FLX 2320-S
Probengröße bis 200 mm
Temperaturbereich: -6 °C bis 500 °C - QQ FLX 3300-T
Probengröße bis 300 mm
Temperaturbereich: -65 °C bis 500 °C - QQ FLX 2320-R
Probengröße bis 200 mm
Automatisiert rotierender Probenhalter
3D-Mapping als Standard - QQ FLX 3300-R
Probengröße bis 300 mm
Automatisiert rotierender Probenhalter
3D-Mapping als Standard
Toho bietet kostenlose Testmessungen für bis zu fünf Wafer in ihrem Demolabor in Chicago an.
