DENSsolutions veröffentlicht experimentelle Daten zum revolutionären MEMS-Nanochip
Revolutionärer MEMS-Nanochip
DENSsolutions stellt hochpräzise, MEMS-basierte In-situ-Lösungen für die Transmissionselektronenmikroskopie her. Heiz-, Bias-, Flüssigkeits- und Gas-/Heizhalter finden sich im Portfolio unseres Lieferanten aus Delft.
Die MEMS-basierten Nano-Chips haben ein ausgeklügeltes Design, welches atomare Untersuchungen im TEM bei vergleichsweise drastischen Bedingungen ermöglicht. Elektrische Felder von 200 kV/cm, Messen von Strömen im einstelligen pA-Bereich, Gasdrücke von bis zu 1000 mbar oder Temperatursprünge von 1000 °C in ms sind hier z.B. als Randbedingungen zu nennen.
Wie bereits in unserem letzten Spektrum berichtet, waren die Stabilität der Probe bei hohen Temperaturen oder bei beträchtlichen Temperaturänderungen lange Zeit einzigartig am Markt.
Anfang 2018 hat DENSsolutions den MEMS-Chip neu konstruiert und damit die In-situ-TEM revolutioniert. Bemüht um eine wissenschaftliche Absicherung und reproduzierbare Daten, wurden experimentelle Daten in der hoch angesehenen Zeitschrift Ultramicroscopy (Verlag: Elsevier) eingereicht und am 16. Mai akzeptiert. Im Abstract hierzu heißt es von den Autoren J. Tijn van Omme, Marina Zakhozheva, Ronald G. Spruit und H. Hugo Pérez Garza:
„The TEM is a powerful tool for materials characterization, especially when combined with micro electro-mechanical systems (MEMS). These deliver in situ stimuli such as heating, in which case temperatures up to 1300 °C can be reached with high temporal stability without affecting the original TEM spatial resolution: indeed, atomic resolution imaging can be routinely performed. Previously, the thermal expansion of suspended microheaters caused vertical displacement of the sample (bulging). As a result, changing temperatures required either continuous focus or stage adjustments, inducing resolution loss or mechanical drift, respectively. Moreover, those actions hinder the possibility to capture fast dynamic events. This new MEMS-based sample carrier, however, keeps the sample at constant z -position (no bulging) up to 700 °C. Furthermore, it enables energy dispersive x-ray spectroscopy (EDS) acquisition in the TEM up to an unmatched temperature of 1000 °C, with a drift rate down to 0.1 nm/min. Its viewable area of 850 μm2 features a temperature homogeneity up to 99.5%.”
Das Paper ist unter folgender DOI permanent verfügbar oder kann im persönlichen Austausch mit uns eingesehen werden:
